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表面粗糙度测量光切法

2022/07/16108 作者:佚名
导读:光线通过狭缝后形成的光带投射到被测表面上,以它与被测表面的交线所形成的轮廓曲线来测量表面粗糙度(图1)。由光源射出的光经聚光镜、狭缝、物镜1后,以45°的倾斜角将狭缝投影到被测表面,形成被测表面的截面轮廓图形,然后通过物镜 2将此图形放大后投射到分划板上。利用测微目镜和读数鼓轮(图1中未示)先读出h值,计算后得到H 值。应用此法的表面粗糙度测量工具称为光切显微镜。它适用于测量RZ和Ry为0.8~1

光切显微镜 光线通过狭缝后形成的光带投射到被测表面上,以它与被测表面的交线所形成的轮廓曲线来测量表面粗糙度(图1)。由光源射出的光经聚光镜、狭缝、物镜1后,以45°的倾斜角将狭缝投影到被测表面,形成被测表面的截面轮廓图形,然后通过物镜 2将此图形放大后投射到分划板上。利用测微目镜和读数鼓轮(图1中未示)先读出h值,计算后得到H 值。应用此法的表面粗糙度测量工具称为光切显微镜。它适用于测量RZ和Ry为0.8~100微米的表面粗糙度,需要人工取点,测量效率低。2100433B

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