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超高真空充排气台技术指标

2022/07/16189 作者：佚名
导读：内真空排气系统：极限真空度2X10^-7 pa（空载）；从大气开始两个小时内真空度优于5x10^-7 pa（空载测试）；整体漏气率小于5x10^-11 Pa*m^3/s；烘箱：最高加热温度500°；温控精度±1°；充气系统：4路充气压力范围10-1000 Pa。

内真空排气系统：极限真空度2X10^-7 pa（空载）；从大气开始两个小时内真空度优于5x10^-7 pa（空载测试）；整体漏气率小于5x10^-11 Pa*m^3/s；烘箱：最高加热温度500°；温控精度±1°；充气系统：4路充气压力范围10-1000 Pa。

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