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建设工程知识

超高纯气体输送与监控系统技术指标

2022/07/1681 作者：佚名
导读：氦检测试：漏率小于1×10-9cc.atm/sec；气密性测试：24小时内压降≤1%；30分钟内压强不降低。

氦检测试：漏率小于1×10-9cc.atm/sec；气密性测试：24小时内压降≤1%；30分钟内压强不降低。

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