元素的蒸发 除氮、氢、氧以外，钢中还溶解了很多其他元素，有的是为获得某种性能而添加的有用元素，或称合金化元素；有些是从炼钢原料中带来的。这些元素存在于钢液中，在钢液表面形成一定的该元素的蒸气压，易溶于钢液的元素蒸气压低些，不易溶于钢液的元素蒸气压则高些。不断降低钢液表面的压力，就可使某些易蒸发元素的分压力不断降低，从而使这种元素不断去除。在有害元素蒸馏去除的同时，往往也伴随着有用元素的挥发，甚至包括铁原子的挥发，因此某些元素通过挥发去除了，而另一些元素则可能在钢液中富集，如钢中的Ni、Co、P等就容易富集。
耐火材料与钢液之间的反应耐火材料一般由MgO、Al2O3 、SiO2 、ZrO2等组成，而钢液中含有一定的碳量，因此在真空条件下，钢液中的碳就可能还原耐火材料并发生耐火材料的分解反应。如：
由于耐火材料的分解向钢中供氧，钢液中的氧含量就会增加，当真空下碳氧反应进行到一定程度时，耐火材料向钢液中的供氧与氧的脱除达到动态平衡，脱氧过程虽在进行，但钢中氧含量却保持一定的数值，不再发生变化。
促进更应的措施 为了获得好的处理效果，缩短真空处理时间，采用了各种改进措施，如电磁搅拌和吹气搅拌。在搅拌的作用下将含氧、氢、氛高的钢液尽快输送到气液相界面以加速反应过程，而吹入的气泡也可以作为形核核心，每个小气泡又相当于一个小真空室，更加速反应去气的过程。
有了各种现代化的真空处理设备，钢液真空处理的水平不断提高．表现于处理量不断增加，同时钢中。氮、氢、氧等杂质的含量下降到很低水平。在已可使钢中总氧量达2×10-6大批量生产的钢中，总氧量可达5×10-6，氢达0.5×10-6 ，氮达10×10-6 。由于钢中有害杂质的不断降低，钢材的使用寿命与可靠性都大大提高。以轴承钢为例，当钢中总氧量由30×10-6降至15×10-6 ，其疲劳寿命(L10)提高5倍；降至10×10-6 ，其疲劳寿命提高15倍：降至5×10-6 ，其疲劳寿命则可提高30倍。
通常钢水表面总是有一层渣覆盖，由于渣层的静压力作用，增大了气泡形核阻力。因此真空处理时要少带渣或者不带渣。LF炉、ASEA—SKF精炼炉和VAD炉处理钢水时，钢水表面总要带渣，而RH法、DH法是将钢液抽进真空室进行处理，钢液完全暴露在高真空气氛中，故它们的脱气效果优于LF炉、ASEA—SKF精炼炉和VAD炉。
