集成电路制造工艺目录
2022/07/16111
作者：佚名
导读：第1章 概述 第2章 半导体材料 第3章 硅平面工艺流程 第4章 薄膜的制备 第5章 光刻技术 第6章 掺杂技术 第7章 金属化与平坦化 第8章 芯片封装与装配技术 附录A 术语表 参考文献2100433B
第1章 概述
第2章 半导体材料
第3章 硅平面工艺流程
第4章 薄膜的制备
第5章 光刻技术
第6章 掺杂技术
第7章 金属化与平坦化
第8章 芯片封装与装配技术
附录A 术语表
参考文献2100433B
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