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第一章 扩散和外延设备
第二章 真空系统
第三章 光掩模
第四章 金属化、划片和电路组装设备
第五章 电子束装置
第六章 最后金属封装和塑料封装
第七章 红外检验和掩模对准
第八章 丝网漏印电路的制造
第九章 集成电路的自动测试设备
第十章 集成电路的新型测试仪表
第十一章 失效机理的研究与分析
第十二章 微型电子器件工厂的生产设施 2100433B