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1. 真空室外形尺寸:Φ1200mm×1600mm(直段); 2. 极限真空度:优于5×10-4Pa(空载,2小时内)、工作真空度:优于1.3×10-3Pa; 3. 热沉温度范围:-70℃~150℃ 4. 热沉平均降温速率:-60℃~ 130℃范围,热沉升温速率:≥2℃/min,降温速率:≥1℃/min; 5. 热沉表面温度均匀性:≤ ±2℃; 6. 谐波减速器和轴承实验台架(所有传感器均安装在真空室内)。