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高精度激光位移测量关键技术和装置研究结题摘要

2022/07/16114 作者:佚名
导读:本项目分析测量头及光学系统参数和质量对测量性能的影响,对高精度激光三角法测量的结构进行了优化设计;研究了重心法和激光散斑相关法两种测量位移的关键算法,为消除散斑和反射像斑畸变造成的误差,在强散射情况下采用散斑相关法测量技术;为了消除温漂的影响,对激光器进行了ADRC温度控制;分析不同反射特性材料对测量精度的影响,为适应不同反射特性材料的激光源发光强度控制,基于FPGA进行自适应发光强度控制;采用模

本项目分析测量头及光学系统参数和质量对测量性能的影响,对高精度激光三角法测量的结构进行了优化设计;研究了重心法和激光散斑相关法两种测量位移的关键算法,为消除散斑和反射像斑畸变造成的误差,在强散射情况下采用散斑相关法测量技术;为了消除温漂的影响,对激光器进行了ADRC温度控制;分析不同反射特性材料对测量精度的影响,为适应不同反射特性材料的激光源发光强度控制,基于FPGA进行自适应发光强度控制;采用模糊控制策略,对CCD接受的光强进行综合控制;研制了以线阵CCD为核心的驱动与高速数据采集处理系统,以USB2.0为接口的数据输出和计算机监控软件;对传感器进行了硬软件集成,搭建了测量演示系统和采集标定系统。 开展了多方面的实验工作。比较了重心法、散斑相关法在不同情形下的测量效果;开展了不同物体表面:颜色、粗糙度、光泽、倾斜度、材料等差异时候,激光位移测量的效果。全面分析了系统误差及产生的原因,提出了改进措施。高精度激光位移测量装置,其测量工作距离35mm,测量范围±7mm,测量分辨率4µm,在满量程内线性度不大于±0.1%,温漂不大于±0.02%/°C,且测量精度不受工件表面反射特性影响。 申请了1项发明专利,发表了1篇SCI论文,2篇EI论文,3篇中文核心期刊论文。培养了6名硕士研究生和2名中物体院参研青年。 2100433B

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