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运用现代光电子技术、远距离显微成象技术和计算机数字图象处理技术，研究适用于微小试样和微小结构力学性能检测的实验测试方法，建立可用于微机电系统（MEMS）结构与材料力学性能测试的实验系统。为MEMS结构的优化设计和MEMS材料的力学性能研究以及逐步建立MEMS结构的静、动态力学特性测试规范提供可靠的实验手段。 2100433B
