1.光源激光类型：镭射激光脉冲波长：测固体及液体的为266nm，测气体的为1064nm频率：20Hz脉率：约4ns传递到样品的能量：从几μJ到几十mj，取决于激光波长2.光束形状和强弱功率稳定度：±5%RMS（激光正常使用范围内取像100次，为每次取像测量能量）等离子体发出的光谱收集消色差：从紫外线到红外线的最佳收集3.分析参数分析的激光烧蚀坑的直径：可从50微米到300微米进行选择检测限度：从十位ppm到千位ppm，取决于被测物的元素和结构测量动态：从十位ppm到100%分析空气：自然空气或受到控制的空气分析时间：从50毫秒到几秒，取决于被测物的元素和结构。
