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电子束曝光机主要功能

2022/07/16117 作者：佚名
导读：电子束曝光机是一台加工设备，其加工目的是在电子束感光胶上制备出纳米级的结构。该设备电子的加速电压达到100KV，扫描速度12MHz，具有10个承片台；因此其具有加工精度高，速度快，自动化程度高等特点，从而具有比较高的工作效率。加工样品不需要掩膜版制备，使得图形能够灵活多变，非常适用于科研探索。 2100433B

电子束曝光机是一台加工设备，其加工目的是在电子束感光胶上制备出纳米级的结构。该设备电子的加速电压达到100KV，扫描速度12MHz，具有10个承片台；因此其具有加工精度高，速度快，自动化程度高等特点，从而具有比较高的工作效率。加工样品不需要掩膜版制备，使得图形能够灵活多变，非常适用于科研探索。 2100433B

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