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电子级四氯化钛electronic grade titanium tPtrafluoridc TiF;白色固体，吸湿性很强，与水反应发出嗤声。属于有毒 物质。
定义
熔点123.89 C。升华点284。其制法是采用高纯金 属钦粉直接氟化，反应产物在28U一2y(1℃进行升华纯化。可 获得纯度达99%的四氟化铁产品:四氟化钦在微电子工业 y用作化学气相沉积或离子注人形成硅化钦或钦膜，制作低 电阻、高熔点的电路互连线和栅极二 2100433B
