当真空管道两端存在有压力差时，气体就会自动地从高压处向低压处扩散，便形成了气体流动。任何真空系统都是由气源(待抽容器)、系统构件(管道阀门等)及抽气装置(真空泵)组成的，气体从气源经过系统的构件向抽气口源源不断地流动，是动态真空系统的普遍特点。

真空技术中，气体沿管道的流动状态可划分为如下几种基本形式：从大气压力下开始抽真空的初期，管道中气体压力和流速较高，气体的惯性力在流动中起主要作用，流动呈不稳定状态，流线无规则，并不时有旋涡出现，这种流动状态称为湍流(涡流，紊流)；随着流速和气压的降低，在低真空区域内，气流由湍流变成规则的层流流动，各部分具有不同速度的流动层，流线平行于管轴，气体的粘滞力在流动中起主导作用，此时气体分子的平均自由程λ仍远小于导管最小截面尺寸d，这种流态叫做粘滞流；当气体流动进入高真空范围，分子平均自由程λ远远大于管道最小尺寸d时，气体分子与管壁之间的碰撞占居主要地位，分子靠热运动自由地直线进行，只发生与管壁的碰撞和热反射而飞过管道，气体流动由各个分子的独立运动叠加而成，这种流动称作分子流；发生在中真空区域内，介于粘滞与分子流之间的流动状态叫做中间流或过渡流。

在不同的流动状态下，管道中的气体流量和导气能力计算方法不同，因此在气体流动计算时，首先要进行流态判别。由于在真空抽气过程中湍流的出现时间较短，常常不加以单独考虑，而是将其归入粘滞流态。其它流动状态的判别可用克努曾数λ/d 或管道中平均压力p与几何尺寸d的乘积pd作为判据：

粘滞流 λ/d100 pd>1Pa·m中间流 1/100<λ/d<1/3 0.03Pa·m<pd<1Pa·m (27)分子流 λ/d<1/3 pd<0.03Pa·m

为了考察管道中流过的气体数量的多少，可以使用气体的质量流率qm(kg/s)和摩尔流率qv(mol/s)，即单位时间内通过管道某一截面的气体质量和气体摩尔数。不过这两种流率不便实际测量，因此工程中广泛使用的是单位时间内流过管道指定截面的气体体积，即体积流率qv(m3/s)。在气体压力为p的截面上，qv与qm、qγ的关系为 qm = pM/RT·qv 和 qv = p/RT·qv (28)在真空泵入口处的气体体积流率又称为泵的抽气速率(简称抽速)，是真空泵的重要性能指标之一。由于在不同压力下，相同的体积流率对应有不同的质量流率，所以在计算体积流率量值时，必须指明所对应的气体压力。

为了更方便地计算流过气体的多少，工程中还定义气体的压力与其体积的乘积为气体量G(Pa·m3=J)，即G=pV；单位时间内流过指定横截面的气体量为流量qG=dG/dt(Pa·m3/s=J/s)；在任一指定截面上，气体流量、压力和抽速间的关系为 qG = p·qv (29)在稳定流动状态下，即管道各截面处的气体压力不随时间变化时，根据质量守恒原理，真空系统任一截面上的气体质量流率qm相等，若整个系统中各处温度相同，则化为流量连续方程，即各截面上的气体流量相等。 qG = p1qv1 =p2qv2 =piqvi (30)如果气体流动过程中温度有变化，例如流过冷却器后温度由T1降至T2，则对应的流量qG1/T1=qG2/T2实验说明，气体流过一段真空管道的流量qG与管道两端的压力差p1-p2成正比，即有 qG=C·(p1-p2) (31) 式中的比例系数C具有体积流率的量纲（m3/s)，它所反映的是管道允许流过气体能力的大小，定义为该段管道的流导。流导是各种真空系统元件（管道、阀们、冷阱、孔口等）的主要技术指标之一，直接反映该元件对气体流动的阻碍程度，是真空系统计算中需要首先计算的参数。元件的流导与所流过气体的流动状态有关，气体流动为粘滞流时，流导值与元件的几何结构尺寸及流过气体的平均压力有关；为分子流时，流导仅与几何结构尺寸有关。根据组成真空系统的需要，有时将几个真空元件(如管道)的入口和出口分别联接在一起，称为元件的并联，并联后元件的总流导等于各分支流导之和 C=C1 C2 … Cn (32)有时将几个元件首尾顺序联接，称为元件的串联，串联后元件的总流导的倒数等于各元件流导的倒数之和 1/C = 1/C1 1/C2 … 1/Cn (33)把一个被抽容器的出口和一台真空泵的入口，用总流导为C的真空管路联接起来，若真空泵在其入口处的抽速为S，则该真空系统在被抽容器出口处所能产生的有效抽速为S，则该真空系统在被抽容器出口处所能产生的有效抽速Se为 Se = (S·C)/(S C) (34)此式习惯上称为真空技术基本方程。从中可以看出，在被抽容器出口产生的有效抽速Se，比泵口抽速S和管路流导C都要小；若要获得较大的Se，应该合理地搭配S和C，单独增大其中的一个，不能获得理想的结果