真空精炼设备和操作随着实际应用不断发展，从单一的脱氢处理发展为充分利用真空下的碳氧反应，于是出现了轻处理、本处理、深脱碳等处理方式。
(1)轻处理的目的
利用真空状态下的碳氧反应可使钢水中碳和氧同步下降这一原理，转炉在生产低碳铝镇静钢时适当提高终点碳，出钢时钢包内按沸腾钢脱氧强度脱氧，这样渣中氧化铁降低，金属收得率提高，停吹时钢水残锰提高，并可用高碳锰铁代替中碳锰铁。通过RH轻处理，使碳、氧同步下降，减轻了转炉脱碳负担，其脱氧产物(一氧化碳气泡)不污染钢水，而且上浮过程中使钢水纯净度大大提高，最后仅用少量铝终脱氧，铝收得率高达70%以上而且十分稳定钢水纯净度的提高，消除了连铸堵水口事故。
(2)轻处理的操作要点
轻处理是在67~266mbar的低真空度下对钢水温度、成分进行调整，根据真空槽内钢水沸腾情况适当调整真空度；
环流气体流量由小(最大流量的60%)到大(最大流量的80%)；
当真空槽内钢水沸腾情况逐渐微弱时加铝终脱氧，加铝后钢水继续环流3分钟以上；
低碳铝镇静钢轻处理中的脱碳量约为0．04%，当转炉出钢[C]过高时，可以用顶枪吹氧脱碳。
(1)本处理的目的
真空脱氢处理是RH最传统最成熟的处理工艺，又称本处理。本处理的操作是在0.67mbar的真空度下，使钢水以最大环流速度处理一定时间，使氢降到2ppm以下。
(2)本处理的操作要点
-钢包应连续使用5炉以上，出钢时耐材表面温度应在1000℃以上；
-处理前钢水成分在目标成分中下限，钢水温度不可过低；
-真空槽和浸渍管应处理3次以上，才能进行本处理；
-真空泵启动后应在4分钟内达到工作真空度，应采用预抽真空方式；
-处理前要检查设备、顶枪、各密封圈的冷却、法兰等不得有漏水；
-合金微调后继续在最低压力下处理5分钟以上。
深脱碳处理模式
(1)深脱碳处理的目的
具有优异深冲性能的高品质冷轧薄钢板是最主要的高附加值产品，而钢中固溶碳量严重影响冷轧钢板深冲性能。同样，碳在高牌号无取向电工钢中也是导致磁性能恶化的主要元素。因此，要求处理要在尽可能短的时间内把W(C)降至很低范围(30ppm以下)。
(2)深脱碳处理的操作要点
-确保最大的环流速度，即浸渍管及真空室状况良好；
-不得使用含碳钢包覆盖剂；
-要求转炉控制好出钢温度，尽量避免RH升温造成处理时间过长：
-采取措施消除真空槽壁凝结的冷钢，或处理超低碳钢前3炉不处理中高碳钢，而应处理低碳铝镇静钢 。2100433B
