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研磨抛光材料简介

2022/07/16219 作者：佚名
导读：研磨抛光材料 集成电 路、半导体器件中最重要的基础材料是硅片、硅片表面状况直 接影响集成电路及器件的质量、成品率，加I.硅片表面的材料 称作研磨抛光材料。‘臼包括磨料、磨液、抛光液等。2100433B

研磨抛光材料 集成电 路、半导体器件中最重要的基础材料是硅片、硅片表面状况直 接影响集成电路及器件的质量、成品率，加I.硅片表面的材料 称作研磨抛光材料。‘臼包括磨料、磨液、抛光液等。2100433B

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