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硅是地球上储藏最丰富的材料之一。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好等优点得到广泛应用。下面介绍两种硅气压测量传感器。硅膜盒电容式气压传感器。其主要部件为变容式真空硅膜盒。固态压阻式传感器是利用压阻效应制成的硅单晶膜片式结构的压强传感器。