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硅谐振式压力传感器的研究基本信息

2022/07/1684 作者：佚名
导读：批准号 69376028 项目名称 硅谐振式压力传感器的研究 项目类别 面上项目 申请代码 F0404 项目负责人 虞 负责人职称 教授 依托单位 哈尔滨工业大学 研究期限 1994-01-01 至 1995-12-31 支持经费 5（万元）

批准号

69376028

项目名称

硅谐振式压力传感器的研究

项目类别

面上项目

申请代码

F0404

项目负责人

虞

负责人职称

教授

依托单位

哈尔滨工业大学

研究期限

1994-01-01 至 1995-12-31

支持经费

5（万元）

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