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Ra:0.1~1000µm(全程范围) 测量范围:1mm (±500µm) 传感器分辨率:16nm/1mm, 3nm/0.2mm, 0.6 nm/0.04mm 驱动箱水平方向行程:120mm、数据分辨率:0.25µm 导轨直线性: 0.5μm/120mm; 0.25μm /60 mm;0.2μm /20mm 符合ISO粗糙度系列标准。