能量色散谱仪energy dispersive spectxrmleter; EDS是x射线能谱分析的一种仪器。
工作原理
能量色散谱仪(energy dispersive spectxrmleter: EDS)是x射线能谱分析的一种仪器。在电子与物质相互作用时，采用能聚焦的入射电子可以激发初级x射线，不同元素发射出来的特征x射线波长不同，能量也不同。利用x射线能量不同而展谱一般称为x射线能谱分析或能量色散x射线分析，所用设备通常称为能量色散谱仪。主要单元是半导体探测器及多道脉冲高度分析器，用以将特征x射线按能量展i}} Er7,5的分辨率远不如波长色散谱仪，它有分析速度快的优点，和通用的x射线波长色散谱仪相比可提高10倍，如果进行物相鉴定， 只需几分钟就可以得到被测物质的全部衍射花样。
