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超声电机的雏形最早由前苏联在60年代初提出。1973年,美国IBM公司的H.V Barth博士、前苏联的V.H.Lavrinenko等人研制出原理性的超声电机。80年代,日本许多科学工作者致力将美国和苏联的原理性样机开发成使用的超声电机,并于90年代初投入到商业应用。至今,日本、美国、俄罗斯、德国竞相研制各种类型和用途的超声电机。