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测量精度:X轴轮廓测量:±(1 4L/200)um 测量器:±(3 |2H|/25)um 测量范围(粗糙度):Z轴 800um/Ra精度0.01um,80um/Ra精度0.001um, 8um/Ra精度0.0001um。 测量范围(轮廓)X轴:200mm,Z轴:300mm;分辨率:X轴:0.05um。