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该清洗液广泛应用于化学机械抛光、刻蚀、沉积以及其它保护步骤中,该清洗液降低了对后续工艺的干扰,大大降低了金属材料的表面点蚀,减低了表面腐蚀程度。从而降低了缺陷,提高了清洗效率和产品优良率,增加了收益率,大大改善了金属表面的平坦度质量。