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颗粒状多晶硅简介

2022/07/16222 作者：佚名
导读：颗粒状多晶硅，在流态化床内进行化学气相沉积制成的，平均粒径为1mm左右的颗粒状多晶硅。 中文名称 颗粒状多晶硅 英文名称 granular polysilicon 定　　义 在流态化床内进行化学气相沉积制成的，平均粒径为1mm左右的颗粒状多晶硅。 应用学科 材料科学技术（一级学科），半导体材料（二级学科），元素半导体材料（三级学科）

颗粒状多晶硅，在流态化床内进行化学气相沉积制成的，平均粒径为1mm左右的颗粒状多晶硅。

中文名称
颗粒状多晶硅
英文名称
granular polysilicon
定　　义
在流态化床内进行化学气相沉积制成的，平均粒径为1mm左右的颗粒状多晶硅。
应用学科
材料科学技术（一级学科），半导体材料（二级学科），元素半导体材料（三级学科）

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