静态测试技术指标： 1）门极参数测试： 电压量程 200V，电流量程10A；电压电流精度0.02%；要求同时具备电压电流供电及检测的功能，电流精度要求达到pA级；电压源可实现编程输出阶梯波 2）CE击穿特性测试： 高压电源：电压量程0~15kV，80mA; 电流测量：电流量程0~1A, 精度100pA，6.5位分辨率，带GPIB接口； 3）寄生电容测试： 直流偏置电压源，0 - 60V可调，编程精度0.05% 10mV，带GPIB接口 4) 静态输出特性测试： 可编程直流电源0 ~ 60V ，精度0.05%, 输出功率78W； 电流传感测试：a) 测量范围：0~3kA, 0.8Hz~17MHz。 b) 测量范围: 0~5kA,1Hz~20MHz; 电压测试范围：差动0~20V，最大共模电压60V，带宽200MHz 或者差动0~42V, 带宽500MHz，差分输入 数据采集：具备1GHz 带宽,采样频率2.5G/s ,20M存储容量以上的4通道同步数据采集系统； 任意波形发生器：25。