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高真空镀膜设备技术指标

2022/07/1690 作者:佚名
导读:手套箱内气体纯度:O21ppm, H2O1ppm;真空腔内的极限真空度:9´10-7mbar;沉积速率分辨率:0.01埃/秒;沉积厚度分辨率:1埃/秒;共蒸源:2个;。

手套箱内气体纯度:O21ppm, H2O1ppm;真空腔内的极限真空度:9´10-7mbar;沉积速率分辨率:0.01埃/秒;沉积厚度分辨率:1埃/秒;共蒸源:2个;。

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