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高真空镀膜设备技术指标

2022/07/16168 作者：佚名
导读：手套箱内气体纯度：O21ppm, H2O1ppm；真空腔内的极限真空度：9´10-7mbar;沉积速率分辨率：0.01埃/秒；沉积厚度分辨率：1埃/秒；共蒸源：2个；。

手套箱内气体纯度：O21ppm, H2O1ppm；真空腔内的极限真空度：9´10-7mbar;沉积速率分辨率：0.01埃/秒；沉积厚度分辨率：1埃/秒；共蒸源：2个；。

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