| 参 数 |
最小值 |
典型值 |
最大值 |
单位 |
|
| 工作电压 |
-- |
5 |
10 |
V(DC) |
|
| 工作压力范围 |
700、1600 |
KPa |
|||
| 芯片尺寸 |
1.0 x 1.0 |
mm |
|||
| 电桥电阻 |
4.5 |
5 |
5.5 |
KΩ |
|
| 零点输出 |
-20 |
0 |
20 |
mV |
|
| 满量程输出 |
700KPa |
60 |
80 |
100 |
mV |
| 1600KPa |
60 |
80 |
100 |
mV |
|
| 非线性 |
±0.2 |
±0.5 |
%FS |
||
| 电阻温度系数 |
1900 |
2200 |
2500 |
ppm/℃ |
|
| 灵敏度温度系数 |
-2500 |
-2200 |
-1800 |
ppm/℃ |
|
| 零点输出温度系数 |
-60 |
-- |
60 |
μV/℃ |
|
| 压力迟滞 |
-- |
-- |
±0.2 |
%FS |
|
| 重复性 |
-- |
-- |
±0.2 |
%FS |
|
| 温度迟滞 |
-- |
-- |
±0.2 |
%FS |
|
| 过载压力 |
-- |
-- |
3X |
-- |
|
| 破坏压力 |
-- |
-- |
5X |
-- |
|
| 工作温度 |
-40 |
-- |
125 |
℃ |
|
| 存储温度 |
-40 |
-- |
150 |
℃ |
|
※注：
如无特殊声明，所有数据均在供电电压Vs =5VDC，室温环境下测试完成；进行切片工序之前尺寸；最小二乘法拟合直线；0~50℃范围内测试数据；压力传感器芯片进行正行程（工作压力最小值到最大值）及反行程（工作压力最大值到最小值）压力循环，工作压力范围内任意压力下的输出值在正行程时与反行程时的偏差；同5中的测试方法，进行3次正反行程压力循环；零点输出在传感器进行一次-40~ 125℃温度循环前后的偏差值。
