| 批准号 |
50271053 |
| 项目名称 |
TiN/Si3N4纳米复合薄膜及其深孔狭缝表面附着强度的研究 |
| 项目类别 |
面上项目 |
| 申请代码 |
E0103 |
| 项目负责人 |
马胜利 |
| 负责人职称 |
教授 |
| 依托单位 |
西安交通大学 |
| 研究期限 |
2003-01-01 至 2005-12-31 |
| 支持经费 |
25（万元） |
