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一种相互补料的单晶炉及其使用方法专利摘要

2022/07/1690 作者:佚名
导读:本发明公开了一种相互补料的单晶炉及其使用方法,包括炉体,所述炉体内设有两个开口向上的存放腔,所述存放腔内设有用于熔融多晶硅的熔融组件,所述存放腔上侧设有用于夹紧固定子晶的夹紧组件,两个所述存放腔之间设有用于导流的熔融液体的转接组件,所述转接组件包括连通左右两侧所述存放腔的连通腔,在进行超规模单晶硅棒拉晶时,根据需要自动完成左右两侧石英锅内的熔融液体的互换,从而可以便于实现所需的长度拉晶,从而扩大生

本发明公开了一种相互补料的单晶炉及其使用方法,包括炉体,所述炉体内设有两个开口向上的存放腔,所述存放腔内设有用于熔融多晶硅的熔融组件,所述存放腔上侧设有用于夹紧固定子晶的夹紧组件,两个所述存放腔之间设有用于导流的熔融液体的转接组件,所述转接组件包括连通左右两侧所述存放腔的连通腔,在进行超规模单晶硅棒拉晶时,根据需要自动完成左右两侧石英锅内的熔融液体的互换,从而可以便于实现所需的长度拉晶,从而扩大生产范围,在二次添加熔融液体的时候,自动完成左右两侧的石英锅的升降,从而保证拉晶的石英锅的拉晶液体平面,从而保证拉晶的平稳进行。2100433B

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