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建设工程知识

冲击加速度传感器常见结构

2022/07/16171 作者：佚名
导读：冲击加速度传感器的结构形式多，常见的有柱式、膜片式结构，如图1所示，是我们采用的周边圆支圆形规膜片结构，中心带敏感质量块。靠近圆膜片边缘应变最大的位置，用扩散参杂法沿径向110和切向110晶向扩散四个阻值相等的电阻条，经蒸渡铝电极链接4个性能一致的电阻构成惠斯顿电桥。

冲击加速度传感器的结构形式多，常见的有柱式、膜片式结构，如图1所示，是我们采用的周边圆支圆形规膜片结构，中心带敏感质量块。靠近圆膜片边缘应变最大的位置，用扩散参杂法沿径向110和切向110晶向扩散四个阻值相等的电阻条，经蒸渡铝电极链接4个性能一致的电阻构成惠斯顿电桥。

图1

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