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单晶硅生长炉设计与仿真

2022/07/16171 作者:佚名
导读:在直拉法生长硅单晶的过程中,硅单晶生长的成功与否以及质量的高低是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场,不仅硅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长硅单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资硅单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出最合理的热场,从而保证生产出来的硅单晶的品质。在直拉硅单晶生长工艺中,一般采用温度梯度

在直拉法生长硅单晶的过程中,硅单晶生长的成功与否以及质量的高低是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场,不仅硅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长硅单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资硅单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出最合理的热场,从而保证生产出来的硅单晶的品质。在直拉硅单晶生长工艺中,一般采用温度梯度来描述热场的温度分布情况,其中在固液界面处的温度梯度最为关键。

数值模拟是在一个低成本的情况下,利用电脑计算提供的详尽资料,用以支持真正的(且昂贵)实验。由于数值模拟提供了一个近似真实的过程,利用这一技术可以很容易的对任何类型的变化(几何尺寸、保温材料、加热器、外围环境等)对晶体质量的影响做出容易的判断。数值仿真是用来获得廉价的,完整的和全面细节的结晶过程,以此方法用来预测晶体生长,改善晶体生长技术。举例来说,对于无经验人员,可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。所以数值仿真是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径,质量要求的最好办法。

面向过程的仿真软件FEMAG为用户提供了可以深入研究的数值工具,用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的仿真计算,优化设计单晶炉的机械结构,在拉晶过程中以仿真结果设定合理的理论拉晶曲线,就可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶硅棒。 2100433B

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