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中心配备有国际上先进的检验设备,如从美国进口的薄膜真空计,从德国进口的皮拉尼真空计,从丹麦进口的噪声振动测量仪等,能够对各种真空泵、真空阀门、真空机组、真空镀膜设备等进行全性能检验,同时中心建有真空测量仪表校准室,采用膨胀法标准装置对电阻真空计、电离真空计和热偶真空计等进行校准。