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扫描电镜与X光微区分析、微区电子衍射、俄歇电子谱仪、电子损失能谱仪等技术相结合，可以在观察形貌的同时，对试样进行微区化学成分及结构分析。扫描电镜配上特制拉伸台，可以观察试样在高温、低温、拉伸，弯曲等过程的动态变化。作为探测微观世界“眼睛”的扫描电镜近年来又有了新的进展，扫描隧道显微镜的出现，使分辨率提高到2～3埃，推动了纳米材料的制备与加工的进展。但是也有其局限性，仪器复杂，价格昂费，试样制备困难。使用范围也有一定局限性。 2100433B
