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自 1913 年 Gaede 发明扩散泵已有 101 年,在此期间技术上已经有很大进步。生产的油扩散泵抽速已达到 100000 L/s 以上,扩散喷射泵的抽速也达 40000 L/s,蒸汽流真空泵在真空应用领域中起着十分重要的作用。尽管有许多其它类型的抽气方式也可以在高真空领域工作,但由于扩散泵结构简单、操作和维护方便、使用寿命长、对各种气体均有较好的抽气特性,因而它一直是获得高真空的主要抽气设备。