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中频交流脉冲磁控溅射电源原理及其作用

2022/07/18339 作者:佚名
导读: 中频交流脉冲磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,双极性脉冲输出,正反脉冲宽度互补调节,中频建设电源以连个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,通过调整AB靶的比例脉宽来控制不同的溅射速率,从而控制两种不同材质靶材的溅射比例,用于制作两种或两种材料以上的金属或反映膜层。电源的输出特性可根据使用需要作相应调整。

 中频交流脉冲磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,双极性脉冲输出,正反脉冲宽度互补调节,中频建设电源以连个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,通过调整AB靶的比例脉宽来控制不同的溅射速率,从而控制两种不同材质靶材的溅射比例,用于制作两种或两种材料以上的金属或反映膜层。电源的输出特性可根据使用需要作相应调整。

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