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机械工程学报
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机 械 工 程 学 报 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 第 43卷第 6期 2007 年 6 月 Vol. 43 No.6 Jun. 2007 HFCVD 衬底三维温度场有限元法模拟 * 徐 锋 左敦稳 卢文壮 李 磊 王 珉 (南京航空航天大学机电学院 南京 210016) 摘要： 热丝化学气相沉积 (Hot filament chemical vapor deposition, HFCVD) 方法制备金刚石薄膜设备简单，成本低 廉，适合大面积金刚石膜的产业化生产，其中衬底温度是沉积高质量 CVD 金刚石膜的重要参数之一。基于此， 首先分析大面积 HFCVD 系统的热交换过程，建立大面积 HFCVD 系统衬底温度场的三维有限元模型。与传统纯 热辐射模型相比，本模型更加接近实际系统，并较好符合试验测定的结果。根据三维有限元模
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机 械 工 程 学 报 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 第 43卷第 6期 2007 年 6 月 Vol. 43 No.6 Jun. 2007 HFCVD 衬底三维温度场有限元法模拟 * 徐 锋 左敦稳 卢文壮 李 磊 王 珉 (南京航空航天大学机电学院 南京 210016) 摘要： 热丝化学气相沉积 (Hot filament chemical vapor deposition, HFCVD) 方法制备金刚石薄膜设备简单，成本低 廉，适合大面积金刚石膜的产业化生产，其中衬底温度是沉积高质量 CVD 金刚石膜的重要参数之一。基于此， 首先分析大面积 HFCVD 系统的热交换过程，建立大面积 HFCVD 系统衬底温度场的三维有限元模型。与传统纯 热辐射模型相比，本模型更加接近实际系统，并较好符合试验测定的结果。根据三维有限元模