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随着科技的进步和精密仪器的应用,薄膜厚度的测量方法有很多,按照测量的方式分可以分为两类:直接测量和间接测量。直接测量指应用测量仪器,通过接触(或光接触)直接感应出薄膜的厚度,常见的直接法测量有:螺旋测微法、精密轮廓扫描法(台阶法)、扫描电子显微法(SEM);间接测量指根据一定对应的物理关系,将相关的物理量经过计算转化为薄膜的厚度,从而达到测量薄膜厚度的目的。常见的间接法测量有:称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。按照测量的原理可分为三类:称量法、电学法、光学法。常见的称量法有:天平法、石英法、原子数测定法;常见的电学法有:电阻法、电容法、涡流法;常见的光学方法有:等厚干涉法、变角干涉法、光吸收法、椭圆偏振法。
当今微电子薄膜,光学薄膜,抗氧化薄膜,巨磁电阻薄膜,高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用,在工业生产的薄膜,其厚度是一个非常重要的参数,直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜,由于电路集成程度的不断提高,薄膜厚度的任何微小变化,对集成电路的性能都会产生直接的影响。除此之外,薄膜材料的力学性能,透光性能,磁性能,热导率,表面结构等都与厚度有着密切的联系。
通常情况下,薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离,而实际上,薄膜的表面是不平整,不连续的,且薄膜内部存在着针孔、微裂纹、纤维丝、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三类:形状厚度,质量厚度,物性厚度。形状厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离;质量厚度指的是薄膜的质量除以薄膜的面积得的厚度,也可以是单位面积所具有的质量(g/cm2);物性厚度指的是根据薄膜材料的物理性质的测量,通过一定的对应关系计算而得到的厚度。
花纹板厚度测量方法如下,1,用千分尺直接测量不带花纹的地方。(规格厚度就是不含花纹的平板处厚度)2,在花纹板四周多测量几次。3,求几次数字的平均值,此值就是所求的花纹板的厚度。
橱柜的测量是非常重要的,因为这个设计到你这个空间的尺寸大小的,如果你的测量不准确,那么就会影响到布局的; 第一:初量,就是橱房装修前的测量,这次去主要是看橱房的结构,再根据客户所需电器来标注电源插头、...
手镯测量方法1: 在测量时,将 4 个长手指(大拇指除外)并至“虎口”处,用力捏紧一些,然后测量工具测量,例如刚好是 45 &n...
当一个方向的长度比其它两个方向的长度小时,这种结构称之为薄膜。
光纤表面薄膜厚度的测量
表面镀膜的长周期光纤光栅传感器的灵敏度与膜层厚度有很大关系,膜层厚度的控制与测量成为制作高灵敏度镀膜长周期光纤光栅传感器的关键一环,本文讨论了几种镀膜方式及相应的薄膜厚度测量方法。
1064nm高反射薄膜激光损伤阈值测量方法
参照国际上对激光损伤阈值不同测量技术建立起来的相应检测规范和标准,分别采用1-on-1,S-on-1,R-on-1和光栅扫描共4种测量方式,在1 064 nm波长下对HfO2/SiO2周期性高反射薄膜进行了激光损伤阈值的测量研究。根据测量结果,比较并分析了这4种测量方式之间的差异,重点研究了R-on-1和光栅扫描测量方式中存在的激光预处理效应对薄膜损伤阈值的影响,以及辐照激光光斑尺寸与损伤阈值之间的联系,并讨论了光栅扫描方式中预处理效应与扫描间距和扫描能量密度梯度的关系。研究表明:R-on-1方式下测得的损伤阈值最高,光栅扫描和1-on-1次之,S-on-1最小;1 000个脉冲激光辐照下的累积效应不显著,并且在激光光斑尺寸的差异较小时,阈值与光斑尺寸的对应关系并不明显;光斑尺寸相同时,扫描光斑的间距越小,激光预处理效果越好。
薄膜等包装材料厚度是否均匀一致,是检测薄膜各项性能的基础。薄膜厚度不均匀,不但会影响到薄膜各处的拉伸强度、阻隔性等,更会影响薄膜的后续加工。
名称:薄膜厚度测量仪
型号:CHY-C2
薄膜厚度测量仪的技术指标
测量范围:0~2mm;0~6mm,12mm(可选)
测量速度:10次/min(可调)
测量压力:17.5±1kPa(薄膜);50±1kPa(纸张)
接触面积:50mm2(薄膜);200mm2(纸张)
注:薄膜、纸张任选一种;非标可定制
电 源:AC 220V 50Hz
外形尺寸:300 mm(L)×275 mm(B)×300 mm(H)
净 重:33kg