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垂直退火炉

垂直退火炉是一种用于信息科学与系统科学、电子与通信技术领域的工艺试验仪器，于2015年6月30日启用。

垂直退火炉基本信息

中文名垂直退火炉
产地日本
学科领域信息科学与系统科学、电子与通信技术
启用日期2015年6月30日
所属类别工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

垂直退火炉主要功能

用于8inch硅晶圆高温氧化与SOI晶圆高温加固；工作温度：600~1200 ℃；恒温区控温精度：±1℃；升降温速度：max：5 ℃/min；可通入氮气、氧气、氢气：、Trans_LC Carrier等工艺气体；氧化层均匀性：干氧、湿氧氧化层均优于2%；表面金属5E10 atmos/CM2；表面颗粒：Particle 30ea (0.16µm) per wafer。 2100433B

垂直退火炉造价信息

市场价
信息价
询价

退火无缝管

规格型号：
品种:热轧无缝钢管;牌号:Q235;壁厚(mm):4;外径Ф(mm):42;
价格行情：
材料单位：
t
材料品牌：
昆钢
材料税率：
13%
供应商：
云南管通商贸有限公司
报价时间：
2022-12-08

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Z型垂直弯头

规格型号：
630A
价格行情：
材料单位：
m
材料品牌：
众联兴
材料税率：
13%
供应商：
众联兴电力科技有限公司
报价时间：
2022-12-08

查看价格

Z型垂直弯头

规格型号：
800A
价格行情：
材料单位：
m
材料品牌：
众联兴
材料税率：
13%
供应商：
众联兴电力科技有限公司
报价时间：
2022-12-08

查看价格

Z型垂直弯头

规格型号：
2000A
价格行情：
材料单位：
m
材料品牌：
众联兴
材料税率：
13%
供应商：
众联兴电力科技有限公司
报价时间：
2022-12-08

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Z型垂直弯头

规格型号：
3150A
价格行情：
材料单位：
m
材料品牌：
众联兴
材料税率：
13%
供应商：
众联兴电力科技有限公司
报价时间：
2022-12-08

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垂直顶升机

规格型号：
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
韶关市2010年8月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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垂直顶升设备

规格型号：
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
汕头市2012年4季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

查看价格

垂直顶升设备

规格型号：
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
汕头市2012年2季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

查看价格

垂直顶升设备

规格型号：
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
汕头市2011年2季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

查看价格

垂直顶升设备

规格型号：
价格行情：
材料单位：
台班
材料税率：
地区时间：
广州市2011年1季度信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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电加热钟罩式硅钢退火炉

规格型号：
RZ-190/120-12型
需求量：
1m²
报价数：
1
材料品牌：
苏州市东升电炉有限公司
材料档次：
中档
费用说明：
不含税费 | 不含运费
询价时间：
2017-09-06

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面火炉

规格型号：
SA373200
需求量：
2套
报价数：
1
材料品牌：
SALVIS
材料档次：
高档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2019-04-29

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猛火炉

规格型号：
带架子
需求量：
1套
报价数：
3
材料品牌：
材料档次：
中档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2018-04-27

查看价格

猛火炉

规格型号：
/
需求量：
2台
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
中档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2021-11-03

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猛火炉

规格型号：
猛火炉
需求量：
1台
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
中高档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2017-06-20

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垂直退火炉技术指标

8inch硅晶圆高温氧化与SOI晶圆高温加固；工作温度：600~1200 ℃；恒温区长度：860 mm；恒温区控温精度：±1℃；升降温速度：max：5 ℃/min；氮气（大流量）：Max：30 SLM(升/分钟); 氮气（小流量）： Max：300 SCCM(毫升/分钟)；氧气（大流量）：Max：20 SLM(升/分钟)；氧气（小流量）： Max：1000 SCCM(毫升/分钟)；氢气： Max：20 SLM(升/分钟)；Trans_LC Carrier：氮气(1 SLM)(升/分钟)；氧化层均匀性：干氧300 Å,1000 Å,1500 Å2%；湿氧0.5 µm,1.0 µm&2.0 µm2%；金属要求： Cu/Cr/Fe/Ni/Al/Zn/Na/Ca5E10 atmos/CM2；颗粒要求：Particle 30ea (0.16µm) per wafer。

垂直退火炉常见问题

燃气退火炉原理是什么？

合盛隆结构特点：加热室采用不锈钢骨架，隔热屏为多层石墨毡，使用寿命长，易维护。采用石墨管加热器，易安装维护，故障率低。气冷系统有大功率高速电机、大风量高压叶轮、蜗壳及导流板、...
罩式退火炉工作原理

罩式退火属于光亮退火工艺，退货前将罐中的空气抽出，在灌入氮气或者惰性气体，然后通电加热，烧到多少度、在多少度保持多长时间、然后再逐步自然降温，有一整套退火温度控制曲线。稀有气体或惰性气体是指元素周期表...
玻璃退火炉是做什么用的？

此炉主要用于玻璃瓶罐、玻璃杯具等日用玻璃及灯饰玻璃的一次退火，与再加工后二次去应力退火，炉体总长6-40米，最高使用温度650℃。

垂直退火炉文献

镀锌退火炉改为镀锌-连退两用退火炉的研究与应用

镀锌退火炉改为镀锌-连退两用退火炉的研究与应用

镀锌退火炉改为镀锌-连退两用退火炉的研究与应用

格式：pdf

大小：587KB

页数： 3页

对比了冷轧带钢镀锌和连退两种工艺热处理曲线的同异,介绍了退火炉改造的内容,通过改造,机组能够适应镀锌、连退两种工艺生产,为企业带来很好的经济效益。

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一种新型带钢连续还原退火炉

一种新型带钢连续还原退火炉

一种新型带钢连续还原退火炉

格式：pdf

大小：587KB

页数：未知

介绍了一种新型带钢连续还原退火炉,其适用于热轧带钢的还原除鳞和冷轧带钢的退火处理。该连续还原退火炉由加热还原段炉体、冷却段炉体和炉体间连接通道组成。加热还原段炉体及冷却段炉体均呈"回"字型结构,带钢在炉膛内回转走行,弯曲曲率小,不易跑偏。该炉结构简单、占地面积小、储料能力强、建设成本低、产品表面质量高,并且能同时满足金属带钢的还原除鳞和退火处理,和传统的退火炉相比具有显著的优势。

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退火炉退火炉按热源分类

退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、天然气退火炉、煤气退火炉等，其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用最广泛。煤气退火窑减去了燃烧室，直接利用煤气烧嘴在加热室喷射燃烧。为了降低能耗，煤气退火窑往往配有换热系统，将空气转换为助燃热风进行煤气的助燃。

退火炉简介

热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉，主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环。退火炉是一种新型换热设备。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

真空退火炉真空退火炉系类

真空退火炉卧式真空退火炉 用途：本系列卧式真空退火炉主要应用于特种材料、不锈钢、硒钢片铁芯、贵金属零件、银铜复合铆钉及片件的真空退火处理。 设备特点： 1. 本设备专用于小零件等在真空状态下的退火； 2. 炉罐密封性好，有效的避免了工件在退火处理中的表面氧化、生锈，提高了处理质量； 3. 保温炉体可向后移动，退火完成后，在保持真空状态下提高冷却速度。 真空退火炉井式真空退火炉 用途：井式真空退火炉系列产品采用预抽真空气体保护方式工作，操作时先将炉内抽至一定真空度后炉内充入高纯氮或氨分解气体进行保护加热，从而达到少无氧化加热、无脱碳光亮的目的。由于搅拌风机的使用，该炉具有较高的炉温均匀性。设备主要应用于机械零件、硅钢片、铜材、紫铜、线材等的无氧化光亮退火。 设备特点： 1、加热元件均布炉膛内，分布合理 2、炉盖可设有热风循环装置，可使炉罐内的气体及温度均匀； 3、可配真空泵抽气，增加换气速度，气体更纯净； 4、有保护气体，经退火后产品无氧化，消除加工应力，提高铁心磁性能，降低铁损； 5、炉温控制采用PID自动调功平滑控温。

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