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用于8inch硅晶圆高温氧化与SOI晶圆高温加固;工作温度:600~1200 ℃;恒温区控温精度:±1℃;升降温速度:max:5 ℃/min;可通入氮气、氧气、氢气: 、Trans_LC Carrier等工艺气体;氧化层均匀性:干氧、湿氧氧化层均优于2%;表面金属5E10 atmos/CM2;表面颗粒:Particle 30ea (0.16µm) per wafer。 2100433B
8inch硅晶圆高温氧化与SOI晶圆高温加固;工作温度:600~1200 ℃;恒温区长度:860 mm;恒温区控温精度:±1℃;升降温速度:max:5 ℃/min;氮气(大流量):Max:30 SLM(升/分钟); 氮气(小流量): Max:300 SCCM(毫升/分钟);氧气(大流量):Max:20 SLM(升/分钟);氧气(小流量): Max:1000 SCCM(毫升/分钟);氢气: Max:20 SLM(升/分钟);Trans_LC Carrier: 氮气(1 SLM)(升/分钟);氧化层均匀性:干氧300 Å,1000 Å,1500 Å2%;湿氧0.5 µm,1.0 µm&2.0 µm2%;金属要求: Cu/Cr/Fe/Ni/Al/Zn/Na/Ca5E10 atmos/CM2;颗粒要求:Particle 30ea (0.16µm) per wafer。
用途很多最为主要的是为高精密金属成分的精密零件,避免与复杂气体成分在高温条件下接触设置的屏障。
DEH系统主要功能: 汽轮机转速控制;自动同期控制;负荷控制;参与一次调频;机、炉协调控制;快速减负荷;主汽压控制;单阀控制、多阀解耦控制;阀门试验;轮机程控启动;OPC控制;甩负荷及失磁工况控制;...
合盛隆结构特点: 加热室采用不锈钢骨架,隔热屏为多层石墨毡,使用寿命长,易维护。采用石墨管加热器,易安装维护,故障率低。气冷系统有大功率高速电机、大风量高压叶轮、蜗壳及导流板、...
镀锌退火炉改为镀锌-连退两用退火炉的研究与应用
对比了冷轧带钢镀锌和连退两种工艺热处理曲线的同异,介绍了退火炉改造的内容,通过改造,机组能够适应镀锌、连退两种工艺生产,为企业带来很好的经济效益。
道闸主要功能
道闸 主要功能: 功能一,手动按钮可作 ‘升’‘降’及‘停’操作、无线遥控可作 ‘升’‘降’‘停’及对手动按钮的 ‘加锁’‘解锁 ’操作 ; 功能二,停电自动解锁,停电后可手动抬杆 ; 功能三,具有便于维护与调试的 ‘自检模式 ’; 道闸 道闸又称挡车器,最初从国外引进,英文名叫 Barrier Gate ,是专门用于道路上限 制机动车行驶的通道出入口管理设备 ,现广泛应用于公路收费站、 停车场系统 管理车 辆通道,用于管理车辆的出入。电动道闸可单独通过无线遥控实现起落杆,也可以通过 停车场管理系统 (即 IC 刷卡管理系统)实行自动管理状态,入场取卡放行车辆,出场 时,收取 停车费 后自动放行车辆。
退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、天然气退火炉、煤气退火炉等,其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用最广泛。煤气退火窑减去了燃烧室,直接利用煤气烧嘴在加热室喷射燃烧。为了降低能耗,煤气退火窑往往配有换热系统,将空气转换为助燃热风进行煤气的助燃。
热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉,主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火;表面淬火件回火;焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环。退火炉是一种新型换热设备。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。
用途:本系列卧式真空退火炉主要应用于特种材料、不锈钢、硒钢片铁芯、贵金属零件、银铜复合铆钉及片件的真空退火处理。
设备特点:
1. 本设备专用于小零件等在真空状态下的退火;
2. 炉罐密封性好,有效的避免了工件在退火处理中的表面氧化、生锈,提高了处理质量;
3. 保温炉体可向后移动,退火完成后,在保持真空状态下提高冷却速度 。
用途:井式真空退火炉系列产品采用预抽真空气体保护方式工作,操作时先将炉内抽至一定真空度后炉内充入高纯氮或氨分解气体进行保护加热,从而达到少无氧化加热、无脱碳光亮的目的。由于搅拌风机的使用,该炉具有较高的炉温均匀性。设备主要应用于机械零件、硅钢片、铜材、紫铜、线材等的无氧化光亮退火。
设备特点:
1、加热元件均布炉膛内,分布合理
2、炉盖可设有热风循环装置,可使炉罐内的气体及温度均匀;
3、可配真空泵抽气,增加换气速度,气体更纯净;
4、有保护气体,经退火后产品无氧化,消除加工应力,提高铁心磁性能,降低铁损;
5、炉温控制采用PID自动调功平滑控温。