《氧化锌透明导电薄膜及其应用》主要介绍了新型ZnO基透明导电薄膜和低成本、大面积湿化学法成膜技术;概述了透明导电氧化物薄膜的透明导电机理、材料体系、掺杂策略、制备技术、应用开发及发展趋势;比较了气相沉积法与湿化学沉积法的成膜机理;重点论述了溶胶?凝胶法、喷雾热分解法、电沉积法、化学浴沉积法等低成本、大面积制备ZnO基透明导电薄膜和ZnO纳米线阵列膜的湿化学法可控生长及其应用于太阳能电池。

《氧化锌透明导电薄膜及其应用》可供从事无机非金属材料、透明导电氧化物(或透明氧化物半导体)、薄膜太阳能电池、新能源材料与器件等领域的科研人员和技术人员参考，也可供高等学校相关专业的师生参阅。

半导电薄膜只有半绝缘多晶硅薄膜。 半导体薄膜主要有外延生长的Si单晶薄膜和CVD生长的掺杂多晶硅薄膜、半绝缘多晶硅薄膜。绝缘体薄膜主要有氧化硅薄膜、氮化硅薄膜等。金属薄膜主要有Al、Au、NiCr等的薄膜。工艺中用到的薄膜技术光刻胶薄膜。

制作电路的基材应采用聚酯(聚邻苯二甲酸乙二醇酯)薄膜(Potyester简称PET)。它具有良好的绝缘性和耐热性，具有较高的机械强度、透明性和气密性，特别具有抗折性和高弹性，是制作薄膜键盘电路的理想材料。

材料的种类

薄膜键盘、面板的材质，除要求具有平整性和印刷适应性外，更主要的是要具有可挠性和高弹性的特点。

聚氯乙烯PVC℃.175~0.5/光面\常温下对酸、碱和盐类稳定。耐磨性 好，耐燃自熄，消声消震，电绝缘性好。热稳定性较差。低廉普通标牌、面板 聚碳酸酯PC\-60~120℃.175~1.0\光面透光率高，吸水性低，尺寸稳定性好，抗弯、抗拉、抗压强度十分优越，耐热性耐寒性、电绝缘性和耐大气老化性优良。耐药品性较差，耐疲劳性较差，易产生应力开裂，输出接口端子电路一般是碳性材质印刷制成，并且没有保护涂层，受空气氧化逐渐形成脱落层，到最后导致断路而寿命终止，这是薄膜键盘最容易出故障的地方，主要有环境所决定，不管使用与否，物理损坏时间是3-10年。一般适用范围最为广泛，除可满足大多数薄膜键盘面板的要求外，其中光面PC的高透光率更可满足带液晶显示窗的要求。

聚酯(PET)\-30~120℃.1~0.2光面耐药品性良好，不溶于一般有机溶剂，不耐碱。具有优良的机械性能、电性能、刚性、硬度和热塑性塑料中最大的强韧性，吸水性低，耐磨损、耐摩擦性优良，尺寸稳定性高。拉伸强度能与铝膜媲美，大大高于PC、PVC。低廉因表面难以加工成亚光型，故有纹理PET较贵 是制作薄膜键盘电路最理想的基材。其中有纹理PET适合对表面要求较高或具有液晶显示窗的产品。

材料的厚度

塑料基材厚度在0.25mm及以下称为薄膜，主要用作薄膜键盘的面板层， 其背面印有各种指示性的图案、文字来表示相应开关键位的操作区域，在厚度选择上应视面板及按键的大小而定，材料厚，触动力加大，反应迟钝;材料过薄，触动时手感差，回弹不明显。厚度在0.25mm以上称为板材，不适合立体键成型，可用作无按键操作区域的指示性的标牌面板，也可作为薄膜键盘的衬板以提高其硬度