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等离子体增强化学气相沉积系统技术指标

等离子体增强化学气相沉积系统技术指标

（1）极限真空为3×10-4 Pa;在真空室下方设一个气体截流阀，截流阀连续可调，控制反应室的工作气压。衬底可升降200mm，衬底旋转，转速为30～60转/分;基片加热为700±1℃; （2）喷淋头分为三层结构，上部水冷，喷口处要求绝缘;Zn源管可拆卸，便于清洗， Zn源管与O源孔位的加工，必须使布气均匀;四周有石英罩，距样品台边缘距离20-30mm，电离电极侧进口。

等离子体增强化学气相沉积系统造价信息

市场价
信息价
询价

等离子体静电空气净化装置

规格型号：
VBK-Z-1500 490×380×210
价格行情：
材料单位：
台
材料品牌：
伟一(V1)
材料税率：
13%
供应商：
东莞市伟一环境科技有限公司
报价时间：
2022-12-07

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等离子体静电空气净化装置

规格型号：
VBK-Z-6000 980×760×210
价格行情：
材料单位：
台
材料品牌：
伟一(V1)
材料税率：
13%
供应商：
东莞市伟一环境科技有限公司
报价时间：
2022-12-07

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等离子体静电空气净化装置

规格型号：
VBK-Z-9000 980×1140×210
价格行情：
材料单位：
台
材料品牌：
伟一(V1)
材料税率：
13%
供应商：
东莞市伟一环境科技有限公司
报价时间：
2022-12-07

查看价格

等离子体静电空气净化装置

规格型号：
VBK-Z-22500 2000×1500×210
价格行情：
材料单位：
台
材料品牌：
伟一(V1)
材料税率：
13%
供应商：
东莞市伟一环境科技有限公司
报价时间：
2022-12-07

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等离子体静电空气净化装置

规格型号：
VBK-Z-33000 2000×2000×210
价格行情：
材料单位：
台
材料品牌：
伟一(V1)
材料税率：
13%
供应商：
东莞市伟一环境科技有限公司
报价时间：
2022-12-07

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8000火灾报警系统

规格型号：
64点LED显示面板三卡
价格行情：
材料单位：
台
材料税率：
地区时间：
湛江市2005年1月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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8000火灾报警系统

规格型号：
65点LED显示面板
价格行情：
材料单位：
台
材料税率：
地区时间：
湛江市2005年1月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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三相消防电源监控模块

规格型号：
智能型
价格行情：
材料单位：
台
材料税率：
地区时间：
韶关市2022年3月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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三相消防电源监控模块

规格型号：
智能型
价格行情：
材料单位：
台
材料税率：
地区时间：
韶关市2021年12月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

查看价格

三相消防电源监控模块

规格型号：
智能型
价格行情：
材料单位：
台
材料税率：
地区时间：
韶关市2021年11月信息价
所属行业：
建筑工程
备注说明：

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经济技术指标

规格型号：
40层
需求量：
04.2m层高
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
费用说明：
不含税费 | 不含运费
询价时间：
2009-05-12

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等离子体净化装置

规格型号：
1.型号:VBK-HD-13B2.规格:风量=1360/h
需求量：
3台
报价数：
3
材料品牌：
材料档次：
中高档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2021-09-29

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等离子体净化装置

规格型号：
1.型号:VBK-HD-13B2.规格:风量=1360/h
需求量：
3台
报价数：
3
材料品牌：
材料档次：
中高档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2021-10-15

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电感耦合等离子体质谱仪

规格型号：
参数配置详见附件
需求量：
1台
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
中档
费用说明：
含税费 | 含运费
询价时间：
2020-09-21

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等离子体空气净化消毒机

规格型号：
等离子体空气净化消毒机1.型式:等离子体空气净化消毒机2.规格:体积≤60m3
需求量：
20只
报价数：
1
材料品牌：
材料档次：
中档
费用说明：
不含税费 | 含运费
询价时间：
2022-07-04

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等离子体增强化学气相沉积系统主要功能

薄膜材料。

等离子体增强化学气相沉积系统技术指标常见问题

低温等离子体的技术开发

国内外企业利用低温等离子体技术在环保方面开发出了“低温等离子体有机废气净化设备”、“低温等离子体废水净化设备”及“低温等离子体汽车尾气净化技术”。1、低温等离子体在保鲜、杀菌、除臭等方面产品开发，目前...
低温等离子体技术是什么？

低温等离子体物理与技术经历了一个由60年代初的空间等离子体研究向80年代和90年代以材料为导向研究领域的大转变，高速发展的微电子科学、环境科学、能源与材料科学等，为低温等离子体科学发展带来了新的机遇和...
什么是等离子体膜

等离子体聚合物在结构上与普通的聚合物显著不同，它能形成含有活性基团的高度交联的网络结构，从而具有良好的均匀性及对基质的附着性［1，2］．有关采用等离子体聚合膜的TSM传感器的报道不多［3，4］，本室已...

等离子体增强化学气相沉积系统技术指标文献

气相沉积

气相沉积

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气相沉积

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过滤真空弧等离子体沉积成膜系统的磁过滤管道传…

过滤真空弧等离子体沉积成膜系统的磁过滤管道传…

过滤真空弧等离子体沉积成膜系统的磁过滤管道传…

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大小：423KB

页数： 5页

介绍了采用90°螺旋管的过滤真空弧等离子体沉成膜系统,对磁过滤管道的传输特性进行了实验研究,实验观察到,弧源聚焦磁场和过滤管道正偏压越高,过滤管道的传输效率越高,但聚焦磁场高过一定阈值时,会出现起弧不稳现象,此阈值的大小同过滤管道磁场及偏压的大小有关,过滤管道正偏压在40￣60V范围内,管道磁场在7￣11mT时传输效率较高,偏压越高达到最佳传输效率所需的过滤管道磁场越高。

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等离子体增强化学气相沉积设备主要功能

低温成膜，温度对基片影响小，可制备厚膜，膜层成分均匀；等离子体对基片有清洗作用；该设备主要应用等离子体化学气相沉积技术，用来制作SiO2、SiN4、非品Si等介电、半导体及金属膜。

等离子体增强化学气相沉积设备技术指标

直径450*H400mm，真空极限优于6.7*10-5Pa，频率13.56MHz.低温成，温度对基片影响小，可制备厚膜，膜层成分均匀，等离子体对基片有清洗作用。

感应耦合式等离子体增强型化学气相沉积系统主要功能

低温工艺，可在温室下进行SiO2淀积。

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