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本文公开的实施例总的来说涉及用于等离子体处理设备的泵送系统。所述泵送系统包括:第一泵路径、第二泵路径、第一阀和第二阀。第一泵路径将处理腔室的基板支撑组件的开口耦接至处理腔室的排气口。第二泵路径将基板支撑组件的开口耦接至处理腔室的抽气区域。第一阀位于第一泵路径中。第一阀可在第一状态和第二状态之间配置。第二阀位于第二泵路径中。第二阀可在第一状态和第二状态之间配置。2100433B
申请日 |
2017.08.25 |
专利权人 |
应用材料公司 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |
发明人 |
M·T·尼科尔斯; I·尤瑟夫; J·A·奥马利三世; S·E·巴巴扬 |
Int. Cl. |
C23C14/56(2006.01)I; C23C14/54(2006.01)I; C23C14/50(2006.01)I; C23C16/458(2006.01)I; C23C16/44(2006.01)I; C23C16/52(2006.01)I; H01J37/32(2006.01)I |
专利代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司31100 |
代理人 |
侯颖媖; 钱慰民 |
优先权 |
62/380,084 2016.08.26 US |
PCT进入国家阶段日 |
2019.01.30 |
PCT申请数据 |
PCT/US2017/048642 2017.08.25 |
PCT公布数据 |
WO2018/039578 EN 2018.03.01 |
对比文件 |
US 2009020227 A1,2009.01.22; CN 103035469 A,2013.04.10 |
很简单的,我在厂里天天看师傅们安装,把椅子放倒,拿着底盘的升降杆,用垂子敲底盘脚和气杆就下来了,再在脚上敲下气杆就行了
作女进行合理的破解就可以了,因为这个地库升价班的话,有时候这游戏里面是比较难破解的,需要一定的
升降杆的设计是倒锥形的,也就是安装的时候是直接插上去的,不需要螺丝,焊接等手段。所以拆的时候,直接将气杆升到最高(方便下手)、拿锤子沿着升降杆周围敲底盘,就会自动掉下来了(切勿一直敲一个点,质量不好的...
电动升降杆的设计与加工方案
电动升降杆的设计与加工方案 编辑:郑州万佳防雷有限公司 1 产品现状 经过市场调研,发现现有的产品有以下几大问题。 1)多为手动控制升降,传动机构大都采用齿轮齿条、同步带和链等。 这些结构较复杂, 人工手动升降,定位精度和稳定性较差。 2)有效行程多在 400 mm 以下,无法满足大行程工作的需要。 3)一般只有两个固定的硬限位,不能灵活的控制检测装置与被测物品的安全距离,一 旦损坏到被测物品,后果将不堪设想。 2 问题解决方案 经过市场的前期调查和客户的实际需要, 我们从以下几方面对该部件进行升级改造, 解 决存在的问题。 1)将原有人力驱动升级为电力驱动。选用 42 加强步进电动机作为原动力,结构简单 重量轻,结合采用滚珠丝杠副传动,可以精确的移动与定位。 2)根据客户的需要,将升降杆有效行程由 400 mm,增加到 700 mm,增加了设备的 适用范围。 3)设计加装一个可移动的光电
导向槽式升降杆球阀阀座结构的改进
论述了导向槽式升降杆球阀特点,改进了硬密封阀座结构,用弹性阀座代替刚性阀座。
涡旋压缩机工作原理
涡旋压缩机是一种容积式压缩的压缩机,压缩部件由动涡旋盘和静涡旋组成。其工作原理是利用动、静涡旋盘的相对公转运动形成封闭容积的连续变化,实现压缩气体的目的。
压缩机上部的两个涡旋盘进行气体压缩,压缩机回气通过吸气口进入压缩机。因为所有的气体都流过电机,这样保证电机在所有应用下都能完全冷却,油分离并滴回油池。在离开电机后,气体进入涡旋盘压缩。最后,压缩排气从排气口离开压缩机。
由于涡旋压缩的高效、低噪音、体积小等众多优势性,主流中央空调生产厂家在风冷热泵、变频多联机、户式冷水机、风管机、空气源热泵等机组都广泛的应用,可在很大范围内取代传统的中、小型往复式压缩机。
高压缩腔与低压缩腔压缩机
涡旋式压缩可以分为高压缩腔与低压缩腔两种形式,下面将对两种压缩机进行对比,希望对大家有所帮助。
压缩机结构原理
1、低压腔压缩机从系统中吸取低温低压气态冷媒后,直接进入到涡旋盘以下封闭的腔体内,然后进入涡旋盘压缩。
高温高压冷媒从涡旋盘上方排气管直接排出压缩机。表现为整个外壳都是低温的,壳腔内(除排气口及排气腔)都是低压的。
2、高压腔压缩机从系统中吸取低温低压气态冷媒后直接进入涡旋盘压缩,高温高压冷媒进入到涡旋盘以下封闭的腔体内,然后再从壳的某一出口排出。表现为整个外壳都是高温的,壳腔内(除吸气口及吸气腔)都是高压的。
低压腔压缩机的优势
1、电机寿命长
高压腔压缩机的运转电机始终处于高温80~100℃的环境中,高温环境加剧漆包线老化及冷冻油碳化,电机易疲劳,寿命短,故障率高。
低压腔压缩机为低压外壳,运转电机处于低温10~30℃的环境下,低温环境减缓漆包线老化,冷冻油不易碳化,电机不易疲劳,能高效运转,寿命长,故障率极低。
2、容量大,安全高
高压腔压缩机的外壳承受系统高压,而低压腔压缩机的外壳承受系统低压。随着压缩机功率的增加,体积也会变大,压缩机外壳所受的压力也随之变大。因为压缩机腔体总是处于高压环境,因此安全性低压缩腔更好一些。
高压缩腔压机铸铁外壳所能承受的压力极限限制了压缩机的体积,低压腔压缩机可以做得比较大,而高压腔压缩机只能做得小点,所以能做到20HP,而其它高压腔品牌的压缩机只能做到10HP。
3、供油更可靠
高压腔压缩机依靠压缩机内高低压差向轴承及涡旋盘供冷冻油。但在压缩机起动之初,压力差不足以将润滑油压到上部轴承,不能充分供油。存在润滑滞后的问题,影响设备寿命和可靠性。
并且高压腔压缩机运行频率不能过低,否则压差不够无法正常供油。低压腔压缩机由于利用油泵进行强制供油,因此可在起动后及时对润滑部分快速供油,不受压力差影响,最低频率可以到20Hz,在低负荷时比较节能。
高压腔压缩机的优势
1、耗电量稍小
相对于高压腔压缩机,低压腔压缩机吸入冷媒后先对电机冷却,同时冷媒的温度提高,在同样的压缩条件下,由于温度的上升,带来负载增加,需要消耗的能源自然更多,因此耗电量相对也比较大,能效比也就相对较差。
2、压差供油,不需要油泵
高压腔压缩机采用压差供油,低压腔压缩机多了一个油泵,提高了压缩机的成本,增加了一些耗电量。但是与上文所讲,实际是有利有弊。
总结:低压腔压缩机的开发理念是稳定、可靠、安全;这一结构虽然牺牲了一点工作效率,但却极大的提升了压缩机的耐久性、稳定性,是专为商用空间和高端住宅用空调而设计开发的。
常用的电磁谐振腔有同轴腔、重入式同轴腔、矩形波导腔、圆柱形波导腔、微带腔、介质腔和开放腔等类型。
同轴腔 由一段同轴线构成,常用作波长计和振荡回路,腔内的最低模式是TEM模,常用的有图2中的三种形式。
电磁谐振腔
重入式同轴腔 又名凹形腔(图3)。其外形与电容加载式同轴腔相似,所不同的是:后者的高度L、半径ρ1、ρ2 都与工作波长λ0属同一数量级;而前者的ρ1 和ρ2 均远小于λ0。从电磁场分布的观点看,电场主要集中在图中的B区,可等效为一个电容;而磁场主要集中在A区,可等效为一个电感。因此,这种谐振腔可等效为并联谐振电路。
矩形波导腔 在矩形波导两端用导电壁短路而构成,其谐振频率为
式中c为光速,m、n、l为整数(对于TE模,其中之一可为零,对于TM模,三者均不能为零)。
圆柱形波导腔 在圆波导两端用导电壁短路而构成。在圆柱形波导腔中,与圆波导主模TE11相应的最低谐振模式是TE111。由于圆波导中TE01模的损耗小,相应的谐振腔模式为TE011,它没有纵向电流,管壁损耗小,其Q值可比TE111模高2~3倍,是圆柱形谐振波长计的工作腔中最有用的模式,但它不是最低模, 而且与TM111模简并,须特别注意耦合结构的设计。林为干在1950年发现圆柱形波导腔中至少存在五个简并模,此外,还发现了球形腔中的简并模。
介质腔 由低耗高介电常数的介质构成。利用电磁波在介质分界面上的全反射现象,使能量限制在介质内而不向外辐射。这种腔的Q值可高达10000。介质腔的外形可以做成角柱形、圆柱形和球形等。
开放式谐振腔 由两块线度远大于工作波长的金属板对置而成,金属板的形状可以是平面镜、球面镜或抛物面镜,通过端板上的小孔与波导耦合。这种腔的Q值可高达数万。
闸阀的闸板随阀杆一起作直线运动的,叫升降杆闸阀(亦叫明杆闸阀)。通常在升降杆上有梯形螺纹,通过阀门顶端的螺母以及阀体上的导槽,将旋转运动变为直线运动,也就是将操作转矩变为操作推力。