| 申请日 |
2017.08.25 |
| 专利权人 |
应用材料公司 |
| 地址 |
美国加利福尼亚州 |
| 发明人 |
M·T·尼科尔斯; I·尤瑟夫; J·A·奥马利三世; S·E·巴巴扬 |
| Int. Cl. |
C23C14/56(2006.01)I; C23C14/54(2006.01)I; C23C14/50(2006.01)I; C23C16/458(2006.01)I; C23C16/44(2006.01)I; C23C16/52(2006.01)I; H01J37/32(2006.01)I |
| 专利代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司31100 |
| 代理人 |
侯颖媖; 钱慰民 |
| 优先权 |
62/380,084 2016.08.26 US |
| PCT进入国家阶段日 |
2019.01.30 |
| PCT申请数据 |
PCT/US2017/048642 2017.08.25 |
| PCT公布数据 |
WO2018/039578 EN 2018.03.01 |
| 对比文件 |
US 2009020227 A1,2009.01.22; CN 103035469 A,2013.04.10 |
