内燃机在燃烧后排出的气体中含氧量极低甚至没有，此排出气体与吸气混合后会使吸气中氧气浓度降低，因此会产生下列现象：

比大气更低的含氧量在燃烧时（最高）温度会降低，会抑制氮氧化物（NOx）的产生。燃烧温度降低时，气缸与燃烧室壁面、活塞表面的热量传递会降低，另外因热离解造成的损失也会有些微降低。燃油发动机其部分负荷与气缸内非EGR时相比，为了提供等量的氧气量（为了得到同一轴的出力），因此需要将油门开大，结果吸气时的吸油（油门）损失较低，燃料经济性会提高。 此即为活塞在一次行程下吸入的氧气降低时，会取得如同使用小排气量发动机加速前进时一样的效果。EGR 的循环率在燃油发动机的情形(在吸气量中)下最大为15%，而怠速时与高负载时则会停止。 以车辆重量来看发动机输出较小的大型柴油车，其发动机负载较高，为了能够达到排气标准也常会使用到EGR技术。

净化装置是废气净化系统的主要组成部分，其性能的好坏直接影响到整个系统的运行效果 。

集气罩是气体净化系统的重要组成部分。通过集气罩罩口的气流运动，可在有害气体散发地点直接捕集有害气体或控制其在车间的扩散，保证室内工作区有害气体浓度不超过国家卫生标准的要求 。

集气罩对污染物进行有效捕集，以保证周围良好的生产、工作环境;净化袋置对不同污染物进行无害化处理;管道输送净化前后的气体；风机是整个净化系统的引曳设备。排气筒则是充分利用大气的扩散稀释能力、减少局地污染的装置：设计废气净化系统时应通过对集气系统的优化尽可能减少对污染物所需的气体量，从而使输送及净化效率最高。

废气控制系统是指局部空气污染的净化处理系统。主要由集气罩、净化装置、排气管道及风机和排气筒等组成。

滞留系统是一种延迟核反应堆产生的放射性惰性气体排入环境的装置。放射性废气经过几天或更长时间的滞留。其放射性水平已衰减至最低程度，然后通过烟囱向高空有控排放。这种系统的可用性取决于贮放气体中所含核素的性质和容器的设计，需确保不同时间内产生的气体的不致相混而造成其中一部分会提前释放。

废气滞留系统通常采用吸附法滞留废气。于低温下，利用一种吸附剂（通常是炭吸附床）分离或吸附并滞留衰变放射性气体。它可以处理化容控制系统的脱气塔排气、容积控制箱吹扫气和无氧槽排气。这些含氢为主的废气，首先经除湿，再经活性炭吸附床滞留衰变，然后向环境排放或返回循环使用。如废气返回容积控制箱，则还须将其压缩 。

废气监测方法包括现场采样方法和实验室检测方法，也可以使用污染源连续在线监测系统实现废气参数的自动监测。随着检测技术、仪器设备等的不断发展，废气监测的发展趋势从无机污染物（二氧化硫、氮氧化物等）的监测趋向于有机污染物的监测；从总体状况分析趋向于单体因子的量化分析；从普通、常见污染物趋向于低含量、高危害性污染物监测。 越来越多的废气污染物如二恶英类物质、多环芳烃类物质以及挥发性有机物等受到关注。中国针对大部分废气污染企业制定了相关的限制排放标准，涉及到大部分常见污染物的监测，并随着技术发展，不断扩充污染物监测范围，企业可以委托环境保护部门或第三方检测机构如SGS进行空气和废气监测。

工业废气检测包括有机废气和无机废气。有机废气主要包括各种烃类、醇类、醛类、酸类、酮类和胺类等；无机废气主要包括硫氧化物、氮氧化物、碳氧化物、卤素及其化合物等。工业废气根据其排风量、温度、浓度及本身化学物理性质其治理方法各不相同

废气净化设备普遍应用在化工厂、电子厂、喷漆厂、汽车厂、涂料厂、石油化工行业、家具厂、食品厂、橡胶厂、塑胶厂等产生异味、臭味、有毒有害气体的行业。

在废气净化的诸多设备中应根据具体情况选用费用低、耗能少、无二次污染、尽量做到节约能耗，有利环保。如，废气净化行业代表性单位--CHO-91废气净化塔采用五重废气吸附过滤净化系统，废气净化设计周密、层层净化过滤废气，曾成功承建过奥运赛艇喷漆废气净化，效果较好。

废气净化塔一般有酸雾废气净化塔、玻璃钢废气净化塔、生物废气净化塔、PP喷淋废气净化塔等。