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硅谐振式压力传感器的研究

《硅谐振式压力传感器的研究》是依托哈尔滨工业大学,由虞担任项目负责人的面上项目。

硅谐振式压力传感器的研究基本信息

硅谐振式压力传感器的研究项目摘要

谐振式传感器具有稳定性好,精度高、与微机接口方便等特点而倍受重视。我们采用微机械加工技术研制了微谐振器和谐振式压力传感器。其特点是用单晶硅梁做谐振器、梁厚仅数微米,用静电激励。其振动频率取决于器件设计、材料性能和梁的轴向应力,并受外界压力调制。研究工作包括器件设计;激振与拾振技术;关键工艺包括硅健合,薄梁制备技术和封装技术,并对样品进行了分析测试 。研究表明,用两端固支梁理论分析微谐振梁作为一阶近似是可行的。单晶梁的工艺难度大,但工艺上仍可行。传感器固有频率稳定;一般在一百千赫以上,空气中品质因数达数百;灵敏度高,当压力电O升到O·1MPa时,频移达十几千赫,是一种有前途的新型传感器。 2100433B

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硅谐振式压力传感器的研究造价信息

  • 市场价
  • 信息价
  • 询价

温度传感器ES-W

  • DN15
  • 盾安阀门
  • 13%
  • 浙江迪艾智控科技股份有限公司
  • 2022-12-08
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CO2传感器

  • RXXF-CO2
  • 荣夏
  • 13%
  • 江苏荣夏安全科技有限公司
  • 2022-12-08
查看价格

温湿度传感器

  • RXXF-THI
  • 荣夏
  • 13%
  • 江苏荣夏安全科技有限公司
  • 2022-12-08
查看价格

电压信号传感器

  • RXPM V JS3
  • 荣夏
  • 13%
  • 江苏荣夏安全科技有限公司
  • 2022-12-08
查看价格

压力传感器

  • 型号:P8000A0010G;品种:应变压力传感器;
  • 松下
  • 13%
  • 广东九天智能化工程有限公司
  • 2022-12-08
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温湿度传感器

  • 广东2022年2季度信息价
  • 电网工程
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温湿度传感器

  • 广东2021年4季度信息价
  • 电网工程
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温湿度传感器

  • 广东2021年1季度信息价
  • 电网工程
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无源无线温度传感器

  • 电缆头温度监测,每相配一个
  • 广东2022年2季度信息价
  • 电网工程
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无源无线温度传感器

  • 电缆头温度监测,每相配一个
  • 广东2022年1季度信息价
  • 电网工程
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压力传感器

  • 压力传感器
  • 1个
  • 2
  • 中高档
  • 含税费 | 含运费
  • 2021-12-03
查看价格

压力传感器

  • 压力传感器
  • 16支
  • 2
  • 北京京源
  • 中档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2020-09-09
查看价格

压力传感器

  • 压力传感器
  • 9支
  • 1
  • 中档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2020-02-28
查看价格

压力传感器

  • 压力传感器
  • 20套
  • 1
  • 海湾
  • 中高档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2022-06-22
查看价格

压力传感器

  • 压力传感器
  • 1个
  • 3
  • 详见原档
  • 中档
  • 含税费 | 含运费
  • 2021-10-14
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硅谐振式压力传感器的研究基本信息

批准号

69376028

项目名称

硅谐振式压力传感器的研究

项目类别

面上项目

申请代码

F0404

项目负责人

负责人职称

教授

依托单位

哈尔滨工业大学

研究期限

1994-01-01 至 1995-12-31

支持经费

5(万元)

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硅谐振式压力传感器的研究常见问题

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硅谐振式压力传感器的研究文献

压力传感器 (4) 压力传感器 (4)

压力传感器 (4)

格式:pdf

大小:10.9MB

页数: 79页

压力传感器 (4)

压力传感器 (3) 压力传感器 (3)

压力传感器 (3)

格式:pdf

大小:10.9MB

页数: 22页

压力传感器 (3)

谐振式压力传感器简介

简介

利用谐振元件把被测压力转换成频率信号的压力传感器。它是谐振式传感器的重要应用方面,主要有振弦式压力传感器(见振弦式传感器)、振筒式压力传感器(见振筒式传感器)、振膜式压力传感器(见振膜式传感器)和石英晶体谐振式压力传感器(见石英晶体谐振式传感器)。

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表面横向模谐振式无线压力传感器的研究项目摘要

为进一步改善声表面波无线压力传感器准确度、量程和温度稳定性等性能,利用石英基片上表面横向模式压力灵敏度高,谐振器加载Q值高和插损低的特点,设计用于智能轮胎的高准确度谐振式压力传感器。采用分布间隙打嗝结构,解决表面横向模式谐振器电学特性受工艺误差影响大这个制约表面横向模式压力传感器实用化的关键问题。采用顶针- - 悬臂梁结构提高传感器灵敏度和量程。通过选择零温度系数切向、差动补偿和优化传感器结构三种措施解决由于传感器封装的弹性体材料与石英的热膨胀系数不同造成预应力变化而引起的频率变化,实现-40℃-150℃宽温度范围内的温度漂移补偿。 2100433B

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表面横向模谐振式无线压力传感器的研究基本信息

批准号

60774052

项目名称

表面横向模谐振式无线压力传感器的研究

项目类别

面上项目

申请代码

F0306

项目负责人

韩韬

负责人职称

教授

依托单位

上海交通大学

研究期限

2008-01-01 至 2010-12-31

支持经费

25(万元)

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