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1 光栅线位移测量系统
利用光栅副产生光信号的原理由光栅线位移传感器感受线位移量并用光栅数显表显示其值的长
度测量单元。
2 测量系统分辨率
测量系统显示的最小长度计数单位。
3 测量系统细分误差
光栅栅距内莫尔条纹原始信号经测量系统分割或倍频后分割间距之间的最大误差。
4 误差峰–峰值
测量系统误差曲线上最高点与最低点之差。
中文名称:光栅线位移测量系统
英文名称:Grating linear displacement measuring system
基本参数按表1 规定。
表1
参 数 名 称 | 参 数 数 值 |
分 辨 率 m | 0.1 0.2 0.5 1.0 2.0 5.0 10 |
有效量程L mm | 10 30 50 60 100 150 200 250 300 350 400 450 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300 1400 1500 1600 1800 2000 2200 2400 2600 2800 3000 |
响 应 速 度 m/min | 1 6 12 18 30 48 60 |
有两大类:一、直接测量直接测量又分为:1、直接比较测量法2、微差测量法3、零位测量法二、间接测量
光栅尺位移传感器(简称光栅尺),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅位移传感器的工作原理,是由一对光栅副中的主光栅(即标尺光栅)和副光栅(即指示光栅)进行相对位移时,在光的干涉与衍射共同作用下...
基础梁:简单说就是与基础上的梁。基础梁一般用于框架结构、框架剪力墙结构,框架柱落于基础梁上或基础梁交叉点上,其主要作用是作为上部建筑的基础,将上部荷载传递到地基上。 筏型基础:又叫笩板型基础...
1 工作条件
测量系统工作环境温度范围应为0~45 相对湿度应不大于90%。
测量系统使用的电源频率应为50Hz 额定电压为220V 电压波动范围为额定电压值的85%~110%。
2 外观及相互作用
各紧固部分应牢固可靠各运动部分应灵活平稳无阻滞和松动现象。
测量系统有效量程的显示应符合规定值参考零位的显示清零置数辨向等功能均应正常。
3 稳定度
在室温条件下测量系统4h 内示值稳定度应不大于一个脉冲当量。
4 可靠性
测量系统可靠性用平均无故障工作时间MTBF 表示其MTBF 应不少于3000h。
5 安全性
电源插座的任一个接线端与机壳之间的漏电流应不大于3.5mA。
电源插座的任一个接线端与机壳之间的直流绝缘电阻应不小于5MΩ。
耐压试验时交流电压为1500V 时机壳耐压时间为1min 不得有击穿现象。
6 抗干扰性
测量系统应具有电磁兼容能力受干扰时示值变化量应不大于一个脉冲当量。
双光栅衍射位移测量实验仪的研制
介绍了一种双光栅衍射位移测量教学实验仪器的工作原理、系统结构、研制内容、实测结果以及在实验教学中的应用。
光杠杆纳米微位移测量系统中的信号处理
本文提出了一种基于光杠杆原理非接触式的纳米级微位移测量系统。该系统通过光学方法对微位移量进行放大,光学放大倍数高,该系统的理论分辨率可达4nm,实际测得静态分辨率小于10nm。信号处理采用基于高精度一维PSD的信号探测电路,并且通过设计有效地抑制了噪声和干扰。实验中使用PZT作为被测物的微小位移驱动器,与电容测微仪JDC-II所测数据进行了验证比较,系统所测得的数据证明了其正确性和可行性。并且该系统受温度影响小,结构简单,便于使用MEMS技术集成和微型化。
测量系统误差曲线上最高点与最低点之差。
光栅栅距内莫尔条纹原始信号经测量系统分割或倍频后分割间距之间的最大误差。
测量系统在工作环境温度范围0~45℃相对湿度不大于90%的条件下应正常计数。
测量系统在工作电压误差为±5%以内应正常计数。
测量系统金属表面不应有锈蚀、碰伤和镀层脱落等缺陷,各种标志和数字应正确、清晰。
各紧固部分应牢固可靠,各运动部分应灵活、平稳、无卡滞和松动现象。
测量系统整圆周内角度显示和参考零位的显示、清零、置数、辨向等功能均应正常。
在室温条件下测量系统4h 内示值稳定度应不大于一个脉冲数。
电源插座的任一个接线端与机壳之间的漏电流应不大于3.5mA。
电源插座的任一个接线端与机壳之间的直流绝缘电阻应不小于5MΩ。
当交流电压为1500V 时,机壳耐压1min,不得有击穿现象。
测量系统应具有电磁兼容能力,受干扰时示值变化量应不大于一个脉冲数。
测量系统的平均无故障工作时间(MTBF)应不少于3000h。2100433B
利用光栅测量原理,由光栅线位移传感器感受线位移量,并用光栅数显表显示其值的长度测量单元。