母线联络柜，也叫母线分段柜，是用来连接两段母线的设备。

在单母线分段、双母线系统中常常要用到母线联络柜，以满足用户选择不同运行方式的要求或保证故障情况下有选择的切除负荷。

表12 ～ 表15 列出国内外标准中铝合金板材的对角线允许偏差。新版GB T 3880 标准中板材的对角线允许偏差与EN485-4 标准中的基本一致。

ANSI 35 .2 M标准中板材的对角线允许偏差与GB T3194 标准中高精级板材的一致。

表12 　新版GB T 3880 标准中高精级A 类板材的对角线允许偏差

表13 　新版GB T 3880 标准中高精级B 类板材的对角线允许偏差

表14 　EN485-4 标准中板材的对角线允许偏差

表15 　ANSI35 .2 M 标准中板材的对角线允许偏差

掩模之间的主要表现在线宽的偏差（offset）。由于制备工艺的差别，一个掩模上所有的关键图形处的线宽通常比另一个掩模的对应线宽相差一个固定值，这个偏差又被称为“global CD offset”。这种固定的掩模线宽偏差会导致曝光图像线宽变化的不均匀性，MEEF值是和掩模图形尺寸及其周围图形相关联的，掩模上的这种线宽变化必然会导致晶圆上“through-pitch”行为的不同。而且，线宽对曝光剂量的敏感度（exposure latitude）也会发生变化。因此，必须调整光照条件来补偿这种变化 。

在量产时，同一个光刻层可能存在两块或者两块以上的掩模，这些掩模用于多个光刻机，增大光刻的产能。理论上，这些掩模应该是相同的（nominally identical reticles）；实际上，由于掩模制备工艺的不稳定性，每一个掩模参数与目标值的偏差不完全一样（particular difference in their mean-to-target）。甚至，这些掩模可能来自于不同得掩模工厂，掩模工厂之间的设备就存在偏差。掩模匹配是通过精细调整光刻机的曝光参数，使得不同掩模在同一台光刻机上曝光得到的结果一致。2100433B