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抛光液应用

抛光液应用

1. LED行业

LED芯片主要采用的衬底材料是蓝宝石,在加工过程中需要对其进行减薄和抛光。蓝宝石的硬度极高,普通磨料难以对其进行加工。在用金刚石研磨液对蓝宝石衬底表面进行减薄和粗磨后,表面不可避免的有一些或大或小的划痕。CMP抛光液利用“软磨硬”的原理很好的实现了蓝宝石表面的精密抛光。随着LED行业的快速发展,聚晶金刚石研磨液及二氧化硅溶胶抛光液的需求也与日俱增。

2.半导体行业

CMP技术还广泛的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体材料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速发展,对抛光技术提出了新的要求,传统的抛光技术(如:基于淀积技术的选择淀积、溅射等)虽然也可以提供“光滑”的表面,但却都是局部平面化技术,不能做到全局平面化,而化学机械抛光技术解决了这个问题,它是可以在整个硅圆晶片上全面平坦化的工艺技术。

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抛光液造价信息

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抛光液

  • 优势:光亮度高 持久性强.,容量:20kg/桶,
  • 紫辰
  • 13%
  • 河北紫辰建筑装饰工程股份有限公司
  • 2022-12-07
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抛光液

  • 优势:光亮度高 持久性强.,容量:20kg/桶,
  • 速可锐
  • 13%
  • 河北紫辰建筑装饰工程股份有限公司
  • 2022-12-07
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抛光液

  • 20kg一桶
  • kg
  • 西米欧
  • 13%
  • 杭州西锋地坪工程有限公司
  • 2022-12-07
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抛光液

  • 容量:20kg/桶,
  • kg
  • 固百林
  • 13%
  • 黑龙江佰固地坪材料有限公司
  • 2022-12-07
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混凝土抛光液

  • 品种:界面剂;规格:20kg/桶;
  • kg
  • 麦琪
  • 13%
  • 辽宁麦琪新材料集团有限公司
  • 2022-12-07
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  • 韶关市2022年10月信息价
  • 建筑工程
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  • 韶关市2022年9月信息价
  • 建筑工程
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  • 韶关市2022年6月信息价
  • 建筑工程
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  • 韶关市2022年5月信息价
  • 建筑工程
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  • kg
  • 韶关市翁源县2021年12月信息价
  • 建筑工程
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视频应用软件

  • 视频应用软件
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  • 1
  • 中档
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  • 2016-11-09
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PLC应用软件

  • PLC应用软件
  • 1个
  • 1
  • 普通
  • 普通
  • 不含税费 | 含运费
  • 2016-08-01
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应用软件

  • 应用软件
  • 1套
  • 3
  • 中高档
  • 不含税费 | 含运费
  • 2020-12-09
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应用软件

  • 应用软件
  • 1套
  • 3
  • 其中一家:大华
  • 不含税费 | 不含运费
  • 2017-02-23
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PLC应用软件

  • PLC应用软件
  • 1台
  • 0
  • 普通
  • 普通
  • 不含税费 | 含运费
  • 2016-09-23
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抛光液制作步骤

依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化理论、表面工程学、半导体化学基础理论等,对硅单晶片化学机械抛光(CMP)机理、动力学控制过程和影响因素研究标明,化学机械抛光是一个复杂的多相反应,它存在着两个动力学过程:

(1)抛光首先使吸附在抛光布上的抛光液中的氧化剂、催化剂等与衬底片表面的硅原子在表面进行氧化还原的动力学过程。这是化学反应的主体。

(2)抛光表面反应物脱离硅单晶表面,即解吸过程使未反应的硅单晶重新裸露出来的动力学过程。它是控制抛光速率的另一个重要过程。

硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程,要获得质量好的抛光片,必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用,则抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹。如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用,则表面产生高损伤层。

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抛光液化学机械抛光

这两个概念主要出半导体加工过程中,最初的半导体基片(衬底片)抛光沿用机械抛光、例如氧化镁、氧化锆抛光等,但是得到的晶片表面损伤是极其严重的。直到60年代末,一种新的抛光技术——化学机械抛光技术(CMP Chemical Mechanical Polishing )取代了旧的方法。CMP技术综合了化学和机械抛光的优势:单纯的化学抛光,抛光速率较快,表面光洁度高,损伤低,平整性好,但表面平整度和平行度差,抛光后表面一致性差;单纯的机械抛光表面一致性好,表面平整度高,但表面光洁度差,损伤层深。化学机械抛光可以获得较为平整的表面,又可以得到较高的抛光速率,得到的平整度比其他方法高两个数量级,是能够实现全局平面化的有效方法。

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抛光液应用常见问题

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抛光液光液使用方法

包括棘轮扳手、开口扳手,批咀、套筒扳手,六角扳手,螺丝刀等,铅锡合金、锌合金等金属产品经过研磨以后,再使用抛光剂配合振动研磨光饰机,滚桶式研磨光式机进行抛光。

1、抛光剂投放量为(根据不同产品的大小,光饰机的大小和各公司的产品光亮度要求进行适当配置);

2、抛光时间:根据产品的状态来定;

3、抛光完成后用清水清洗一次并且烘干即可。

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抛光液分类

抛光液的主要产品可以按主要成分的不同分为以下几大类:金刚石抛光液(多晶金刚石抛光液、单晶金刚石抛光液和纳米金刚石抛光液)、氧化硅抛光液(即CMP抛光液)、氧化铈抛光液、氧化铝抛光液和碳化硅抛光液等几类。

多晶金刚石抛光液

多晶金刚石抛光液以多晶金刚石微粉为主要成分,配合高分散性配方,可以在保持高切削率的同时不易对研磨材质产生划伤。

主要应用于蓝宝石衬底的研磨、LED芯片的背部减薄、光学晶体以及硬盘磁头等的研磨和抛光。

氧化硅抛光液

氧化硅抛光液(CMP抛光液)是以高纯硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品。

广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光,如:硅晶圆片、锗片、化合物半导体材料砷化镓、磷化铟,精密光学器件、蓝宝石片等的抛光加工。

氧化铈抛光液

氧化铈抛光液是以微米或亚微米级CeO2为磨料的氧化铈研磨液,该研磨液具有分散性好、粒度细、粒度分布均匀、硬度适中等特点。

适用于高精密光学仪器,光学镜头,微晶玻璃基板,晶体表面、集成电路光掩模等方面的精密抛光。

氧化铝和碳化硅抛光液

是以超细氧化铝和碳化硅微粉为磨料的抛光液,主要成分是微米或亚微米级的磨料。

主要用于高精密光学仪器、硬盘基板、磁头、陶瓷、光纤连接器等方面的研磨和抛光。

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抛光液特性

抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂,具有良好的去油污,防锈,清洗和增光性能,并能使金属制品超过原有的光泽。产品性能稳定、无毒,对环境无污染等优点。

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抛光液上市产品

硅材料抛光液、蓝宝石抛光液、砷化镓抛光液、铌酸锂抛光液、锗抛光液、集成电路多次铜布线抛光液、集成电路阻挡层抛光液、研磨抛光液电解抛光液不锈钢电化学抛光液、不锈钢抛光液石材专用纳米抛光液、氧化铝抛光液、铜化学抛光液、铝合金抛光液、镜面抛光液、铜抛光液、玻璃研磨液、蓝宝石研磨液等。

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抛光液参考配方

组分

投料量(g/L)

硫酸

350~400

硝酸

30~50

双氧水

30~100

盐酸

40~80

乙酸

20~50

2-巯基噻唑啉

1~3

硫酸铜

1~10

壬基酚聚氧乙烯醚

5~10

有机硅消泡剂

1~3

余量

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抛光液产品类型

抛光液硅材料

抛光液

抛光液蓝宝石

抛光液

抛光液砷化镓

抛光液

抛光液铌酸锂

抛光液

锗抛光液

集成电路多次铜布线抛光液

集成电路阻挡层抛光液

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抛光液简介

特性

抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂,具有良好的去油污,防锈,清洗和增光性能,并能使金属制品超过原有的光泽。本产品性能稳定、无毒,对环境无污染等作用,光液使用方法:包括棘轮扳手、开口扳手,批咀、套筒扳手,六角扳手,螺丝刀等,铅锡合金、锌合金等金属产品经过研磨以后,再使用抛光剂配合振动研磨光饰机,滚桶式研磨光式机进行抛光;1抛光剂投放量为(根据不同产品的大小,光饰机的大小和各公司的产品光亮度要求进行适当配置),2:抛光时间:根据产品的状态来定。3、抛光完成后用清水清洗一次并且烘干即可。

英文名

polishing slurry

抛光液

CMP(Chemical Mechanical Polishing)

化学机械抛光

这两个概念主要出现在半导体加工过程中,最初的半导体基片(衬底片)抛光沿用机械抛光、例如氧化镁、氧化锆抛光等,但是得到的晶片表面损伤是及其严重的。直到60年代末,一种新的抛光技术--化学机械抛光技术(CMP Chemical Mechanical Polishing )取代了旧的方法。CMP技术综合了化学和机械抛光的优势:单纯的化学抛光,抛光速率较快,表面光洁度高,损伤低,完美性好,但表面平整度和平行度差,抛光后表面一致性差;单纯的机械抛光表面一致性好,表面平整度高,但表面光洁度差,损伤层深。化学机械抛光可以获得较为完美的表面,又可以得到较高的抛光速率,得到的平整度比其他方法高两个数量级,是目前能够实现全局平面化的唯一有效方法。

制作步骤

依据机械加工原理、半导体材料工程学、物力化学多相反应多相催化理论、表面工程学、半导体化学基础理论等,对硅单晶片化学机械抛光(CMP)机理、动力学控制过程和影响因素研究标明,化学机械抛光是一个复杂的多相反应,它存在着两个动力学过程:

(1)抛光首先使吸附在抛光布上的抛光液中的氧化剂、催化剂等与衬底片表面的硅原子在表面进行氧化还原的动力学过程。这是化学反应的主体。

(2)抛光表面反应物脱离硅单晶表面,即解吸过程使未反应的硅单晶重新裸露出来的动力学过程。它是控制抛光速率的另一个重要过程。

硅片的化学机械抛光过程是以化学反应为主的机械抛光过程,要获得质量好的抛光片,必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用,则抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹。如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用,则表面产生高损伤层。

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抛光液应用文献

纳米抛光液 纳米抛光液

纳米抛光液

格式:pdf

大小:122KB

页数: 1页

随着半导体工业的飞速发展,化学机械抛光(CMP)渐成为集成电路制造中的一项关键工艺,其中抛光液是化学机械抛光过程中重要的消耗品,长期以来国内主要硅材料厂及半导体元件厂依赖进口产品,不仅价格昂贵,而且受制于人。中科院上海微系统所纳米技术研究室CMP小组开展了“纳米抛光液产业化关键技术”研究,

纳米抛光液 纳米抛光液

纳米抛光液

格式:pdf

大小:122KB

页数: 1页

随着半导体工业的飞速发展,化学机械抛光(CMP)渐成为集成电路制造中的一项关键工艺,其中抛光液是化学机械抛光过程中重要的消耗品,长期以来国内主要硅材料厂及半导体元件厂依赖进口产品,不仅价格昂贵,而且受制于人。中科院上海微系统所

研磨抛光液介绍

研磨抛光液是不同于固结磨具,涂附磨具的另一类“磨具”,磨料在分散剂中均匀、游离分布。研磨抛光液可分为研磨液和抛光液。一般研磨液用于粗磨,抛光液用于精密磨削。抛光液通常用于研磨液的下道工序,行业中也把抛光液称为研磨液或把研磨液称为抛光液的。

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抛光液料特点

1、可任意滴流,滴干为止。可以重复多次使用,纳米抛光液xz-pg05,没有大的粒子,使用极其方便,抛光液xz-pg05中纳米氧化物粒径均匀,没有特别大的颗粒,不会对抛光物体产生划痕,经过抛光液xz-pg05抛光后,材料会光亮如镜。

2、抛光亮度稳定。抛光液xz-pg05,其中的纳米氧化物粒径小,抛光效果好,不产生划痕,纳米氧化物硬度强。可以长时间使用,从而保证使用寿命。

3、使用抛光液xz-pg05加工出来的工件表面光亮美观,色泽鲜艳,光亮夺目,还可以防止工件的锈蚀,保持与提高工件表面的光泽,起到清洁工件与磨具的作用。去除油污,软化工件表面以加速磨消,减少磨具对工件的冲击,改善工件条件。

4、抛光液xz-pg05具有无毒,无腐蚀,不易变质等性能。 在光整效率,工作的研磨质量,抛光的光洁度等方面。抛光液xz-pg05都显示出其独特的效果。

产品级别:工业级。

包 装:6公斤包装,25公斤塑料桶包装。

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不锈钢抛光液市面常见种类

硅材料抛光液、蓝宝石抛光液、砷化镓抛光液、铌酸锂抛光液、锗抛光液、集成电路多次铜布线抛光液、集成电路阻挡层抛光液、研磨抛光液、电解抛光液、不锈钢电化学抛光液,不锈钢抛光液、石材专用纳米抛光液、氧化铝抛光液、铜化学抛光液、铝合金抛光液、镜面抛光液、铜抛光液、玻璃研磨液、蓝宝石研磨液、酸性抛光液、铝材抛光液、金刚石抛光液、钻石抛光液、单晶体钻石研磨液、抛光膏

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