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(1)SIHIdry干式真空泵是新-代具有众多特 殊性能的富于革新意义的真空设备。
(2)SIHIdry干式真空泵适用于吸入压力要求 达到1Pa以下,需要洁净真空的,处理含水分和 灰尘、腐蚀性气体、有毒辣气体和易燃易爆气体的 苛刻介质的现代高利技行业。
(3)S1HIdry干式真空泵具有20 000h无需维 修,较低的全寿命成本和有利于环保等显著优势。
笔者谨以在英国某著名医药公司运行的SIHIdry(370 m3/h名义吸气量,1500Pa-75mbar吸气压力,20000h的操作时间)为例,将SIHIdry的总体成本与传统的液环真空泵作一比较。成本比较见表1。
该SIHIdry应用于处理腐蚀性的气体的工况, 在处理介质中含有HCl、HBr、HNO3,以及HF, 在使用SIHIdry前,由于环保的要求,腐蚀性工作 液的处理和材料的腐蚀问题一直困扰着用户。而 SIHIdry通过内部温度控制,防止了腐蚀性蒸气的 冷凝,从而有效地解决厂腐蚀问题 ,由于SIHIdry 没有机械密封及润滑油.对用户的I:作人员而言, 该泵非常易于维修和保养,并极大地节约厂备件 和处理溶剂的成本。该泵可谓为"智能泵",它能 在事故发生前诊断其故障,产通过控制系统能轻 易地改变其工作参数。该SIHIdry1998年;投入运 行,用户对SIHIdry的可靠性和低的全寿命成本非 常满意。
结沦:每-[作20 000 h,SIHIdry630可节约 45 175欧元。总成本因不同公司的原始采购成本 不同而有差异,如果吸气量越大,总体成本的节 约将更加明显。
表1 成本比较
泵的型号 液环真空泵系统 SIHIdry
初始采购成本/欧元 液环真空泵系统 42857
功率及电力成本,0.045欧元/kWh 28571 12kW,8640
冷却水成本,0.05欧元/ m3 15kW,13500欧元 0.8 m3/h,800欧元
补充水成本,1.79欧元/ m3 2.5 m3/h2500欧元 无
工作液回收、处理成本/欧元 0.125 m3/h4475欧元 无
冲洗气体(空气)成本,0.12欧元/ m3 无 0.8 m3/h,1920欧元
维修成本/欧元 1250 无
总成本/欧元 99392 54127
典型的于式真空系统(见图1)由SIHldry,净化气体模块、吸入管线模块(可选)、冷却水循环模块、气体冷却模块、驱动控制柜组成。模块化设计的灵活性可以使SIHIdry应用于所有流程,尤其对于吸入压力达1Pa以下,处理介质为含水分和灰尘、腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体等工况尤为合适,在化工、制药、电子等需要洁净真空的行业有广泛的应用。所有必需的元件可以集成在一个标准的系统中,丌位于泵内、通过内部冷却水回路,可以精确地控制内部温度,从而防止介质的冷凝、结晶和溶液的燃烧。
完全安装好的电气和机械界面非常友好,驱动和控制可以完全集成在标准的机组中。各种不同的界面可以添加到已有的系统和流程中;驱动控制可以保护机器以防应用巾的故障-例如,当输送含液体的介质时,泵的速度可以自动减少以输送该介质。当不含液体时,泵的速度将回归到设定值。这同样适用于输送固体和粉末的场合。LCD显示器可以给十转子的沉积物和冲洗的效果。
如图2所示,SIHIdry的基本设计包括FEP O形圈的壳体密封及以下元件:
(1)在壳体内的变频驱动电动机。
(2)用于冷却泵壳、驱动电动机及双螺杆的冷却水回路。
(3)防上有害颗粒进入泵内的吸入口过滤
1.气体净化模块EX
标准的EExP气体净化系统用来调节、控制与监测轴封处的惰性气体N2的压力,使系统符合ATEX防爆条例的要求而町以安装在危险区域。该系统町集成在机组中并可以设置相关参数。
2.吸入管线模块(可选)
在需要的时候,该模块可将泵与流程隔离。例如,当泵达到预定的温度,或超过有机介质(T4)的最大温度极限时, 町自动切断该流程,这种控制通过气动控制吸气阀来实现,该吸气阀完全集成在控制驱动变量巾。同时,当连接到共用的真空管路时,吸气阀可以防止回流。
3.冷却水循环模块
该模块配置有循环泵、流量显示器、增压器调节阀、温度控制阀与热交换器,该模块完全集成在共同的底板上。当现场冷却水进出口的压差非常低及现场水质很差的时候,该模块特别见效。该循环冷却系统可以精确地调节,以全流量来有效地降温,以零流量来有效地升温。
4.气体冷却模块
该系统让泵腔排出的气体,经过热交换器并将其中一小部分再送回泵腔。使用这种方式进行冷却,冷却的干空气向双螺杆的下一端进行传输,不会影响进气口的吸气能力。这样町以在低的压力下保证一定的流量,防止热敏物质的沉积。
5.驱动控制柜
(1)该模块可以安装在机组上,适用于在Ex区域I,防护等级EEx-p。
(2)内置的电动机通过一个由变频器、供电和控制模块的单元进行操作。
(3)电子驱动系统防止机械元件由于夹带液体等原因引起的过载。
(4)泵的速度可以减小,防止超过最大的允许电动机负荷。
(5)当夹带的液体去除后,恢复起始操作点。
(6)SIHIdry可以覆盖吸入压力和吸气量的整个范围。该泵能在其性能范围的任何点操作。同时,还可以预先设定需要的操作曲线:变速操作允许最灵活的操作并减小能量消耗。
(7)该模块可以测量真空系统中的不同的过程压力。
(8)在选用了驱动控制时,可以使用操作显示模块,该模块可以向操作人显示SIHIdry参数,如速度、压力、转矩、温度,可以简单地使用按钮控制,也可以使用LCD显示。
另外,可提供PARA参数修正模块。不是使用PLC程序,而是使用PARA软件,能够修正SIHIdry的特定参数,该参数由客户决定,如温度-亡下限、速度、压力、设置、加热循环等,为提供将来长期运行的适用性,需要基于汁算机的标准视窗。当配置有远程诊断模块,客户能够设定与检查控制系统与参数,从而对泵进行远程监控。
干式真空泵主要有下列几种形式: 除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量...
无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
韩国的质量还是不错的,目前欧美很多品牌都是在韩国贴牌后拿到中国销售,他们为了方便也都在中国组建本土化售后服务团队。
(1)两个电动机同步驱动,在确保全速和转矩控制的同时,保证在泵运行时维持无部件相互接触。
(2)无密封设计,确保无泄漏。
(3)通过对内表面温度的控制以满足新的A-TEX防爆条例的要求。由于能够维持最小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应。
(4)最小的维护要求,该泵无齿轮箱,同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具有20 000h平均无故障时间。
(5)完全电子智能化设计,可以很方便地全方位与DCS系统联接,通过Modem连接可以实现就地和远程控制。
(6)辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是最苛刻的流程的应用。
(7)设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100 000:1(吸入压力<0.01绝压)。
(8)吸气量可达1000 m3/h(更大吸气量的泵在开发中,臼前可用机械的增压泵与干式泵组合来满足对大的吸气量的要求)。
(9)噪声水平低于75 dH(A)。
(10)维修方便,可以快速和方便地拆卸和更换泵的内件。
喷射真空泵与液环式真空泵的应用对比
介绍了醇解工序所使用的液环式真空泵与喷射真空泵的原理和流程,并从设备投资、能源消耗、维修费用、运行方式等方面进行了对比,喷射真空泵在系统运行、维修费用、能耗等几方面较液环式真空泵都有较大优势。
双面非对称干式涡旋真空泵的设计计算
涡旋真空泵是一种无油容积式机械干式真空泵,具有结构简单,真空度高,振动噪声低,可靠性高等优点。但涡旋真空泵也有一些缺点,如抽速较低,初始抽气时泵的工作状态不稳定,加工制造困难等。本文提出了一种双面非对称涡旋真空泵的设计思路,给出了泵主要结构及抽气性能参数的设计计算。此设计提高了泵的抽速,解决了泵初始抽气时状态不稳定等问题,减小了对涡旋齿的强度要求,增大了涡旋盘抽气的有效利用面积。
爪型干式真空泵,就是转子为爪型的干式真空泵。爪型转子
爪型干式真空泵的结构,一般采用多级转子串联,或罗茨转子与多级转子串联的形式,组成多级爪型干式真空泵。
干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。