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· 高活化效率 · 最小表面粗糙度
· 最大温度可达 1950 ℃
· 占地少 [1.8 m2]
· 升温速率可达 100 K/min
· 批处理包括 2″,3″, 4", 6"
· 批处理数量达到 40 片硅片[2″], 50 片硅片 [6"]
· 真空度小于10-3 mbar [可选]
· 可并排安装石墨烯生长
Activator 150用于SiC或GaN器件注入后退火,独 特工艺炉管和加热系统设计允许工艺温度可达1950 ℃. Centrotherm最新研发SiC工艺炉管用以满足新兴的150毫米SiC衬底工艺。
Activator 150-5 是为研发工作而定制的;Activator 150-50 专为大批量生产而设计,为了缩短生产周期Activator 150-50采用机械手自动传片系统。
Activator 150通过碳化硅升华生长石墨层,可以获得高性能器件,该工艺在圆片区域石墨的生成尺寸达到直径150毫米。
· 注入后高温退火
· [3C, 4H, 6H器件,传感器]
· GaN 退火· 大面积石墨烯形成
· SiC 表面制备[例如碳化]
碳化硅材料作为应用领域最为广泛的一种新型材料,越来越多被应用于碳化硅陶瓷生产方面。碳化硅陶瓷产品具有以下优点:1、耐化学腐蚀;2、耐高温,正常使用在1800℃;3、耐骤冷骤热,不易炸裂;4、可重复使用...
碳化硅最高,它是原子晶体,其他两个是分子晶体,氯化硅应该高于氟化硅
碳化硅 SiC >99% 8000元/吨 以上 SiC <98% 3800-4200元/吨价格近期来不是很稳定,买卖都需慎重
高性能碳化硅陶瓷的工程应用
高性能碳化硅陶瓷的工程应用 作者: 高积强, 乔冠军, 金志浩 作者单位: 西安交通大学西安天健工程陶瓷有限公司,710049 本文链接: http://d.g.wanfangdata.com.cn/Conference_6265561.aspx
碳化硅生产新工艺,碳化硅制备加工配方设计,碳化硅技术专利全集
碳化硅生产新工艺与制备加工配方设计及技术专利全集 主编:国家专利局编写组 出版发行:中国知识出版社 2011年 规格:全四卷 16 开精装 +1张 CD光盘 定价: 1180元 优惠价: 680元 详细目录 1 200410030786.8 铝电解槽侧墙用氮化硅结合碳化硅耐火砖及其制 备方法 2 200410023747.5 一种向缸套铬层内部挤入碳化硅的方法 3 200410012271.5 一种制备碳化硅纳米纤维的方法 4 200410020538.5 黑色碳化硅冶炼降低单位耗料的工艺 5 200410026085.7 一种碳化硅发热元件冷端部的制造方法 6 200410026086.1 酚醛树脂作为结合剂的碳化硅陶瓷常温挤压成形 方法 7 02822412.4 大面积碳化硅器件及其制造方法 8 03125220.6 掺加助剂热压烧结块体钛碳化硅陶瓷材料的方法 9 03138926.0
《国外电子与通信教材系列:碳化硅半导体材料与器件》是一本系统介绍碳化硅半导体材料及器件的专著,主要论述了SiC材料与器件中的相关基础理论,内容包括:SiC材料特性、SiC同质外延和异质外延、SiC欧姆接触、肖特基势垒二极管、大功率PiN整流器、SiC微波二极管、SiC晶闸管、SiC静态感应晶体管、SiC衬底材料生长、SiC深能级缺陷、SiC结型场效应晶体管,以及SiCBJT等。书中涉及SiC材料制备、外延生长、测试表征、器件结构与工作原理、器件设计与仿真、器件关键工艺、器件研制与性能测试,以及器件应用等多个方面。在论述这些基础理论的同时,重点总结了近年来SiC材料与器件的主要研究成果,以及今后的发展趋势。
箱式高温炉又名马弗炉。适用于电力、煤炭、造纸、石化、水泥、农牧、医药科研、教学等行业和部门。
1、马弗炉采用新型保温材料。体积小、重量轻、保温效果好、升温速度快。
2、面板采用不锈钢制作。造型美观、工艺考究。
3、操作简单、维修方便、炉后配有可控烟囱。适用于煤炭、焦化产品、化工原料的化学分析。
活化能是一个化学名词,又被称为阈能。这一名词是由阿伦尼乌斯(Arrhenius)在1889年引入,用来定义一个化学反应的发生所需要克服的能量障碍。活化能可以用于表示一个化学反应发生所需要的最小能量。反应的活化能通常表示为Ea,单位是千焦耳每摩尔(kJ/mol)。
活化能表示势垒(有时称为能垒)的高度。活化能的大小可以反映化学反应发生的难易程度。
在Arrhenius提出活化能概念之前,人们对溶液反应曾总结出这样一个规则:溶液温度每升高10℃,反应速率将成倍增加。并且,在1878年,由英国科学家Hood最早通过实验归纳出一经验关系式:
式中B、C是经验常数。
随后,范特霍夫于1884年在讨论温度对化学反应平衡常数影响的基础上,首先对上式作出了初步的理论说明。他从热力学严格地导出了描述温度与化学平衡常数K之间关系的方程式,对于溶液反应Kc可写成:
并导出了温度与反应速率常数之间的关系式:
不过他没有给出A的物理意义以及确定的I方法,因此当时没能引起人们的重视
1889年,Arrhenius 通过大量实验与理论的论证,揭示了反应速率与温度的关系Arrhenius经验公式,其形式如下 :
指数式
对数式
微分式
阿伦尼乌斯提出了活化能的概念,但对活化能的解释不够明确,特别是把活化能看作是与温度无关的常数,这与许多实验事实不符。 20世纪20年代,科学家托尔曼(Tolman)运用统计热力学来讨论化学反应速率与温度的关系,并于1925年推导出下面的反应式:
很多反应若按阿仑尼乌斯的经验公式,以lnk对1/T作图,常得到的图形是一根曲线,而不是直线,这表明活化能并不是一个常数。事实上,活化能基本定义
活化能是指化学反应中,由反应物分子到达活化分子所需的最小能量。以酶和底物为例,二者自由状态下的势能与二者相结合形成的活化分子的势能之差就是反应所需的活化能,因此不是说活化能存在于细胞中,而是细胞中的某些能量为反应提供了所需的活化能。
事实上,对基元反应,E a可以赋予较明确的物理意义。分子相互作用的首要条件是它们必须“接触”,虽然分子彼此碰撞的频率很高,但并不是所有的碰撞都是有效的,只有少数能量较高的分子碰撞后才能起作用,E a表征了反应分子能发生有效碰撞的能量要求。而对非基元反应,E a就没有明确的物理定义了,它实际上是组成该总包反应的各种基元反应活化能的特定组合。在复杂反应中,E a称为该总包反应的表观活化能(apparent activition energy),A称为表观指数前因子(apparent pre-exponetial factor) 。
化学反应速率与其活化能的大小密切相关,活化能越低,反应速率越快,因此降低活化能会有效地促进反应的进行。酶通过降低活化能(实际上是通过改变反应途径的方式降低活化能)来促进一些原本很慢的生化反应得以快速进行(或使一些原本很快的生化反应较慢进行)。影响反应速率的因素分外因与内因:内因主要是参加反应物质的性质;在同一反应中,影响因素是外因,即外界条件,主要有浓度、压强、温度、催化剂等。
实验证明,只有发生碰撞的分子的能量等于或超过某一定的能量E c(可称为临界能)时,才可能发生有效碰撞。具有能量大于或等于E c的分子称为活化分子。
不同的反应具有不同的活化能。反应的活化能越低,则在指定温度下活化分子数越多,反应就越快。
不同温度下分子能量分布是不同的。图2中是不同温度下分子的能量分布示意图 。当温度升高时,气体分子的运动速率增大,不仅使气体分子在单位时间内碰撞的次数增加,更重要的是由于气体分子能量增加,使活化分子百分数增大。图中曲线t1表示在t1温度下的分子能量分布,曲线t2表示在t2温度下的分子能量分布(t2>t1)。温度为t1时活化分子的多少可由面积A1反映出来;温度为t2时,活化分子的多少可由面积A1 A2反映出来。从图中可以看到,升高温度,可以使活化分子百分数增大,从而使反应速率增大。
非活化分子转变为活化分子所需吸收的能量为活化能的计算可用阿伦尼乌斯方程求解。阿伦尼乌斯方程反应了化学反应速率常数K随温度变化的关系。在多数情况下,其定量规律可由阿伦尼乌斯公式来描述:
式中:κ为反应的速率系(常)数;E a和A分别称为活化能和指前因子,是化学动力学中极重要的两个参数;R为摩尔气体常数;T为热力学温度。
(1)式还可以写成:
lnk=与-1/T为直线关系,直线斜率为-E a/R,截距为 lnA,由实验测出不同温度下的κ值,并将lnκ对1/T作图,即可求出E值。
例:由E a计算反应速率系数k
当已知某温度下的k和Ea,可根据Arrhenius计算另一温度下的k,或者与另一k相对应的温度T。
2N 2O 5(g) = 2N 2O 4 (g) O 2(g)
已知:T 1=298.15K,k 1=0.469×10 -4s,T 2=318.15K,k 2=6.29×10 -4s。 求:Ea及338.15K时的k 3。
K 3=6.12×10 -4S
在元反应中,并不是反应物分子的每一次碰撞都能发生反应。S.A.阿伦尼乌斯认为,只有“活化分子”之间的碰撞才能发生反应,而活化分子的平均能量与反应物分子平均能量的差值即为活化能。近代反应速率理论进一步指出,两个分子发生反应时必须经过一个过渡态——活化络合物,过渡态具有比反应物分子和产物分子都要高的势能,互撞的反应物分子必须具有较高的能量足以克服反应势能垒,才能形成过渡态而发生反应,此即活化能的本质。
对于复合反应,由上述实验方法求出的E值只是表观值,没有实际的物理意义。
阿仑尼乌斯(S.A.Arrhenius)发现化学反应的速度常数k和绝对温度T之间有
活化能的物理意义一般认为是这样:从原反应体系到产物的中间阶段存在一个过渡状态,这个过渡状态和原系统的能量差就是活化能E,而且热能RT如不大于E,反应就不能进行。也就是原系统和生成物系统之间存在着能垒,其高度相当于活化能。其后埃林(H.Eyring)从过渡状态(也叫做活性络合物)和原系统之间存在着近似的平衡出发,对速度常数k导出了如下的关系 :
k为通透系数,K是波尔兹曼常数,h是普朗克常数,ΔG*、ΔS*、ΔH*分别为活化自由能、活化熵和活化焓。而且活化自由能与活化焓大致相等。酶促反应主要就是由于降低了活化自由能。