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本设备主要制备大尺寸单晶材料。由炉膛、真空获得及测量系统、籽晶杆拉送系统、坩埚杆拉送系统、感应加热系统、电控系统等组成。 2100433B
极限真空可达8×10-5Pa。
DEH系统主要功能: 汽轮机转速控制;自动同期控制;负荷控制;参与一次调频;机、炉协调控制;快速减负荷;主汽压控制;单阀控制、多阀解耦控制;阀门试验;轮机程控启动;OPC控制;甩负荷及失磁工况控制;...
⒈保水.保水剂不溶于水,但能吸收相当自身重量成百倍的水.保水剂可有效抑制水分蒸发.土壤中渗入保水剂后,在很大程度上抑制了水分蒸发,提高了土壤饱和含水量,降低了土壤的饱和导水率,从而减缓了土壤释放水的速...
变频器的作用是改变交流电机供电的频率和幅值,因而改变其运动磁场的周期,达到平滑控制电动机转速的目的。变频器的出现,使得复杂的调速控制简单化,用变频器+交流鼠笼式感应电动机组合替代了大部分原先只能用直流...
道闸主要功能
道闸 主要功能: 功能一,手动按钮可作 ‘升’‘降’及‘停’操作、无线遥控可作 ‘升’‘降’‘停’及对手动按钮的 ‘加锁’‘解锁 ’操作 ; 功能二,停电自动解锁,停电后可手动抬杆 ; 功能三,具有便于维护与调试的 ‘自检模式 ’; 道闸 道闸又称挡车器,最初从国外引进,英文名叫 Barrier Gate ,是专门用于道路上限 制机动车行驶的通道出入口管理设备 ,现广泛应用于公路收费站、 停车场系统 管理车 辆通道,用于管理车辆的出入。电动道闸可单独通过无线遥控实现起落杆,也可以通过 停车场管理系统 (即 IC 刷卡管理系统)实行自动管理状态,入场取卡放行车辆,出场 时,收取 停车费 后自动放行车辆。
空调器主要功能及技术参数
空调器主要功能及技术参数 1.空调器一般都具有如下功能: (1)调节室内温度 一般情况下,人们居住或工作的环境, 与外界的温差如能保持在 5℃左右是比较适宜的。 若温差过大,每当受到“热冲击”或“冷冲击”时,都会使人感到不舒服。 因此,对大多数 人来说,空调房间夏季保持在 24- 28℃、冬季保持在 18- 20℃是比较理想的。 (2)调节室内湿度 在过于潮湿或干燥的空气环境中,人们会感到不舒服,适合人们需要的相对湿度是在 40-70%的范围内。 空调器的湿度调节, 是通过增加或减少空气中的潜热来实现的, 夏季降温 除湿,冬季升温加湿。 (3)调节室内气流速度 人们处在适当低速流动的空气中要比处在静止的空气中感觉良好。 (4)净化室内空气 空气中一般都有悬浮状态的固体或液体微粒,它们很容易随着人们的呼吸进入气管、 肺等器官,沾附在其上面,这些微尘还常常带有细菌,传染各种疾病,因此,无论是室
随着大直径、重掺杂等特殊要求的硅单晶需求量的增加,对单晶炉设备的要求也越来越高,将旋片真空泵应用在单晶炉设备上,提高了单晶炉的整体性能。
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
单晶炉主要需要控制的方面
一、晶体直径(尺寸)
二、温度(功率控制)
三、原料(硅料)
四、泄漏率,氩气质量等
由于硅单晶生长过程比较漫长,特别是大直径的硅单晶生长时间更长,随着时间的增加,真空泵油里的杂质也越积越多,从而使真空泵油的黏稠度也越来越大,导致旋片真空泵负荷增大,抽速下降,因此需要定期更换真空泵油。
旋片真空泵在单晶炉上的应用的好处是,维持正常的抽速,保证炉膛内的真空度稳定,排出的水经过处理还可以重复使用,这样不但维护方便而且费用低,特别是拉重掺砷等剧毒掺杂元素的硅单晶时,砷等剧毒掺杂元素融入水中后比较容易被分离收集,减少对环境的影响。同时也能取得很好的经济和社会效益。
旋片式真空泵的产品介绍:
单级旋片式真空泵均为单级油封式旋片真空泵,是获得真空的基本设备,工作原理如图1所示。
单级旋片式真空泵吸气口安装有金属丝网的粗过滤器。能防止固体的外来尘粒吸入泵腔。油分离器内安装有高效油气分离效果的排气过渡器。停泵时,内置于吸气口的吸气阀使泵与被抽系统隔离,防止泵油返入被抽系统。泵由空气冷却。所有的泵均由直联的电动机通过弹性联轴器驱动。
单级旋片式真空泵适用范围:
1、单级旋片式真空泵适用于密闭系统的抽真空使用。如真空包装、真空成形、真空吸引。
2、入口压力范围:100Pa~100000 Pa,超出此范围工作真空泵排气口将有油雾产生。单级旋片式真空泵工作环境温度和吸入气体温度应在5℃~40℃之间。
3、单级旋片式真空泵不能抽除水或其它液体。不能抽除易爆、易燃、含氧量过高的、腐蚀性的气体。
4、一般供应的电动机不防爆,如要求防爆或其它特殊要求时电动机必须符合相关的标准。
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单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
购买技术主要要求
1.单晶炉装料量(单台机产能多少) 2. 能拉多长、几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质(少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度) 5设备制造工艺控制保证 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。
单晶炉型号定义
单晶炉型号有两种命名方式,一种为投料量,一种为炉室直径。比如85炉,是指主炉筒的直径大小,120、150等型号是由装料量来决定的
单晶炉主要需要控制的方面
一、晶体直径(尺寸)
二、温度(功率控制)
三、原料(硅料)
四、泄漏率,氩气质量等
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单晶炉热场的设计与仿真
单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。温度分布合适的热场,不仅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出最合理的热场,从而保证生产出来的单晶的品质。在晶体生长分析与设计中,实验与数值仿真是相辅相成的,其过程可以分为两个部分:
(1)在第一阶段,利用引上法晶体生长实验来进行数值模拟参数的调整。
(2)在第二阶段,利用数值模拟是用来确定最佳的晶体生长工艺参数。
数值仿真是用来获得廉价的,完整的和全面细节的结晶过程,以此方法用来预测晶体生长,改善晶体生长技术。数值模拟是当实验的费用太昂贵或无法常规进行时一种非常有用或必不可少的方法。举例来说,对于无经验人员,可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。所以数值仿真是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径,质量要求的最好办法。面向过程的仿真软件FEMAG为用户提供了可以深入研究的数值工具,用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的仿真计算,优化设计单晶炉的机械结构,在拉晶过程中以仿真结果设定合理的理论拉晶曲线,就可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶棒。
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。